フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
▼アダプタ 3方向エルボ
・角度の付いた2方向に継手が溶接されたアダプタ
・汎用性の高いインチチューブで豊富にラインアップ
・チューブ径(インチ):1/4,3/8,1/2
・継手:Swagelok®,VCR®(めす,おす)
・フランジ:NW/KF,ICF
▼チューブアダプタは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジから継手がまっすぐ伸びたタイプ
・1つのフランジから複数の継手に接続できるタイプ
・ニップル側面に付いたタイプ
・エルボ側面についたタイプ
・継手が90°に曲がっているタイプ
・継手が45°に曲がっているタイプ
・Swagelok®継手付き製品一覧はこちら
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 継手 | SUS 316 |
|---|---|
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| チューブ/継手サイズ | 1/2 inch |
| A | 55 |
| H1 | 50 |
| H2 | 66 |
| L(長さ) | 30 |
| 継手規格 | VCR® めす |
▼アダプタ 3方向エルボ
・角度の付いた2方向に継手が溶接されたアダプタ
・汎用性の高いインチチューブで豊富にラインアップ
・チューブ径(インチ):1/4,3/8,1/2
・継手:Swagelok®,VCR®(めす,おす)
・フランジ:NW/KF,ICF
▼チューブアダプタは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジから継手がまっすぐ伸びたタイプ
・1つのフランジから複数の継手に接続できるタイプ
・ニップル側面に付いたタイプ
・エルボ側面についたタイプ
・継手が90°に曲がっているタイプ
・継手が45°に曲がっているタイプ
・Swagelok®継手付き製品一覧はこちら
▼特注品も対応いたします
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| 継手 | SUS 316 |
|---|---|
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| チューブ/継手サイズ | 1/4 inch |
| A | 55 |
| H1 | 50 |
| H2 | 60 |
| L(長さ) | 41 |
| 継手規格 | VCR® おす |
▼アダプタ 3方向エルボ
・角度の付いた2方向に継手が溶接されたアダプタ
・汎用性の高いインチチューブで豊富にラインアップ
・チューブ径(インチ):1/4,3/8,1/2
・継手:Swagelok®,VCR®(めす,おす)
・フランジ:NW/KF,ICF
▼チューブアダプタは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジから継手がまっすぐ伸びたタイプ
・1つのフランジから複数の継手に接続できるタイプ
・ニップル側面に付いたタイプ
・エルボ側面についたタイプ
・継手が90°に曲がっているタイプ
・継手が45°に曲がっているタイプ
・Swagelok®継手付き製品一覧はこちら
▼特注品も対応いたします
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| 継手 | SUS 316 |
|---|---|
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| チューブ/継手サイズ | 3/8 inch |
| A | 55 |
| H1 | 50 |
| H2 | 64 |
| L(長さ) | 45 |
| 継手規格 | VCR® おす |
▼アダプタ 3方向エルボ
・角度の付いた2方向に継手が溶接されたアダプタ
・汎用性の高いインチチューブで豊富にラインアップ
・チューブ径(インチ):1/4,3/8,1/2
・継手:Swagelok®,VCR®(めす,おす)
・フランジ:NW/KF,ICF
▼チューブアダプタは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジから継手がまっすぐ伸びたタイプ
・1つのフランジから複数の継手に接続できるタイプ
・ニップル側面に付いたタイプ
・エルボ側面についたタイプ
・継手が90°に曲がっているタイプ
・継手が45°に曲がっているタイプ
・Swagelok®継手付き製品一覧はこちら
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 継手 | SUS 316 |
|---|---|
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| チューブ/継手サイズ | 1/2 inch |
| A | 55 |
| H1 | 50 |
| H2 | 64 |
| L(長さ) | 47 |
| 継手規格 | VCR® おす |
詳細な寸法値や仕様は別途お問い合わせください。
| NW/KF | 40 |
|---|---|
| タイプ | 熱電対 Kタイプ |
| 対数(熱電対) | 10 |
▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC:Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-320までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※サイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。
| 使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
|---|---|
| リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| 最低温度 | 10℃ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
| 入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
| NW/KF | 40 |
| DN(内径) | 40 |
| タイプ | バルブ部Viton®なし |
| ボディ | SUS 304 |
| インターフェイス | RS232+Analog Output |
| パワーオプション | SPS |
| センサー数 | 2 |
▼バタフライバルブ
・装置内の圧力・流量調整
・真空バルブとしては開口コンダクタンスが最大で、面間距離が短く、密閉も可能な小型・軽量バルブです
▼手動式
・バルブ部(弁体)にOリングのついたシーリングタイプ
・流量調整メモリ/安全防止ロック付き
・ボディ材質:SUS304
▼圧空式
・Rc1/8接続の圧空操作式バルブ
・複作動式
・ボディ材質:SCS13、駆動部:アルミ
▼その他
・上記以外のサイズ、フランジ規格、材質も対応可能です
・バルブ部(弁体)にOリングにないタイプはご相談ください
・自動制御バタフライバルブもご用意しております
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
|---|---|
| 最高温度 | 150℃(ボディ)、80℃(全体) |
| タイプ | バルブ部Viton®付属 |
| ボディ | SUS 304 |
| NW/KF | 40 |
| DN(内径) | 40 |
| A | 55 |
| B | 39 |
| C | 57 |
| D | 70 |
| L(長さ) | 103 |
| 分類 | 手動 |
▼バタフライバルブ
・装置内の圧力・流量調整
・真空バルブとしては開口コンダクタンスが最大で、面間距離が短く、密閉も可能な小型・軽量バルブです
▼手動式
・バルブ部(弁体)にOリングのついたシーリングタイプ
・流量調整メモリ/安全防止ロック付き
・ボディ材質:SUS304
▼圧空式
・Rc1/8接続の圧空操作式バルブ
・複作動式
・ボディ材質:SCS13、駆動部:アルミ
▼その他
・上記以外のサイズ、フランジ規格、材質も対応可能です
・バルブ部(弁体)にOリングにないタイプはご相談ください
・自動制御バタフライバルブもご用意しております
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
|---|---|
| 最高温度 | 150℃(ボディ)、80℃(全体) |
| タイプ | バルブ部Viton®付属 |
| ボディ | SUS 304 |
| NW/KF | 40 |
| DN(内径) | 33 |
| A | 55 |
| C | 56 |
| D | 84 |
| L(長さ) | 50 |
| H | 143 |
| 分類 | 圧空(複作動) |
▼HDMI フィードスルー
・真空フランジ付きHDMI端子
・エポキシ封止
・真空側、大気側ともメス
・接続フランジ:NW/KF40,ICF70
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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| タイプ | HDMI |
|---|---|
| 接続タイプ | HDMI |
| 絶縁体 | エポキシ |
| NW/KF | 40 |
| A | 55 |
| B | 5 |
| D | 35.6 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| JIS10K | 15A |
| A | 55 |
| B | 95 |
| C | 21.7 |
| D | 17.5 |
| P.C.D | 70 |
| T | 12 |
| L(長さ) | 53 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| JIS10K | 20A |
| A | 55 |
| B | 100 |
| C | 27.2 |
| D | 23 |
| P.C.D | 75 |
| T | 14 |
| L(長さ) | 53 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| JIS10K | 25A |
| A | 55 |
| B | 125 |
| C | 34 |
| D | 24.8 |
| P.C.D | 90 |
| T | 14 |
| L(長さ) | 53 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| JIS10K | 32A |
| A | 55 |
| B | 135 |
| C | 42.7 |
| D | 37.1 |
| P.C.D | 100 |
| T | 16 |
| L(長さ) | 53 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| JIS10K | 40A |
| A | 55 |
| B | 140 |
| C | 42.7 |
| D | 37.1 |
| P.C.D | 105 |
| T | 16 |
| L(長さ) | 53 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| JIS10K | 50A |
| A | 55 |
| B | 155 |
| C | 42.7 |
| D | 37.1 |
| P.C.D | 120 |
| T | 16 |
| L(長さ) | 53 |
▼リークバルブ
・真空装置内に大気や特定ガスを導入可能なリークバルブ
・高真空、超高真空装置(10⁻⁷Pa程度)にご使用いただけます
・NW/KFタイプ,ICFタイプでご用意しております
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| オリフィス径 | Φ3.5 mm |
| 最高温度 | 125℃ |
| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
| 軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
| バルブボディ軸 | SUS 304 |
| 弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
| ハンドル | フェノール樹脂 |
| NW/KF | 40 |
| A | 55 |
| D | 32 |
| L(長さ) | 75.5~82.5 |
▼多ピン BURNDY® ガイド付き 複数端子
・複数の端子を組み合わせたハイブリッド型フィードスルー
・用途別に端子を分けられるため使い分けしやすい
・端子:多ピン高電流タイプ,K熱電対,T熱電対
・電力導入と熱計測を1ポートで実現可能
※熱電対用電極は熱計測を前提としているため、耐電流値の参考データはありません
▼特注品も対応いたします
複数・異種端子の組み合わせ・フランジサイズの変更・特殊フランジへの取り付けも承ります
ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 耐電圧: DC | 500 V |
|---|---|
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 周波数 | 10 MHz |
| 接続タイプ | BURNDY |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| タイプ | 高電流 |
| A | 55 |
| B | 12.7 |
| D1 | 38 |
| D2 | 38 |
| 商品内容 | フランジ付き端子のみ |
| 電極数 | 8(4+4) |
| 電流/1本 | 10 A |
| 総電流/1端子 | 33.1 A |
▼多ピン BURNDY® ガイド付き 複数端子
・複数の端子を組み合わせたハイブリッド型フィードスルー
・用途別に端子を分けられるため使い分けしやすい
・端子:多ピン高電流タイプ,K熱電対,T熱電対
・電力導入と熱計測を1ポートで実現可能
※熱電対用電極は熱計測を前提としているため、耐電流値の参考データはありません
▼特注品も対応いたします
複数・異種端子の組み合わせ・フランジサイズの変更・特殊フランジへの取り付けも承ります
ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 耐電圧: DC | 500 V |
|---|---|
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 周波数 | 10 MHz |
| 接続タイプ | BURNDY |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| タイプ | 高電流 |
| A | 55 |
| B | 12.7 |
| D1 | 38 |
| D2 | 38 |
| 商品内容 | セット品 |
| 電極数 | 8(4+4) |
| 電流/1本 | 10 A |
| 総電流/1端子 | 33.1 A |
▼多ピン BURNDY® ガイド付き 複数端子
・複数の端子を組み合わせたハイブリッド型フィードスルー
・用途別に端子を分けられるため使い分けしやすい
・端子:多ピン高電流タイプ,K熱電対,T熱電対
・電力導入と熱計測を1ポートで実現可能
※熱電対用電極は熱計測を前提としているため、耐電流値の参考データはありません
▼特注品も対応いたします
複数・異種端子の組み合わせ・フランジサイズの変更・特殊フランジへの取り付けも承ります
ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 耐電圧: DC | 500 V |
|---|---|
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 周波数 | 10 MHz |
| 接続タイプ | BURNDY |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| タイプ | 高電流 |
| A | 55 |
| B | 12.7 |
| D1 | 38 |
| D2 | 38 |
| 商品内容 | フランジ付き端子のみ |
| 電極数 | 16(8+8) |
| 電流/1本 | 10 A |
| 総電流/1端子 | 33.1 A |
▼多ピン BURNDY® ガイド付き 複数端子
・複数の端子を組み合わせたハイブリッド型フィードスルー
・用途別に端子を分けられるため使い分けしやすい
・端子:多ピン高電流タイプ,K熱電対,T熱電対
・電力導入と熱計測を1ポートで実現可能
※熱電対用電極は熱計測を前提としているため、耐電流値の参考データはありません
▼特注品も対応いたします
複数・異種端子の組み合わせ・フランジサイズの変更・特殊フランジへの取り付けも承ります
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精密洗浄のご依頼はこちらから
| 耐電圧: DC | 500 V |
|---|---|
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 周波数 | 10 MHz |
| 接続タイプ | BURNDY |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| タイプ | 高電流 |
| A | 55 |
| B | 12.7 |
| D1 | 38 |
| D2 | 38 |
| 商品内容 | セット品 |
| 電極数 | 16(8+8) |
| 電流/1本 | 10 A |
| 総電流/1端子 | 33.1 A |