フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
▼高電圧フィードスルー (全ねじタイプ)
・電力、ヒーター、ランプ等の用途で使用されています
・真空側の電極が全面ねじ切りのタイプです
・電圧5kV DC,電流110A
・電極材質:無酸素銅
・電極数:1,2,3,4
・接続用SUSナット(M5)、ワッシャが電極1本あたり各4個付属
▼高電圧フィードスルー は以下のタイプが規格化されています(一覧)
・電極ねじ加工あり:無酸素銅,無酸素銅+ニッケルめっき,SUS
・コンパクトタイプ(電極ねじきりなし):無酸素銅 (5kV 22A),SUS (5kV 3A)
・シリコンプラグタイプ:無酸素銅(3kV 35A,5kV 110A)
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
※ICF70対応の電圧端子用保護カバーもご用意しております
▼その他
・真空側は任意の長さにカットしてご利用いただくことも可能です
・電極をカットする場合には、セラミックに力がかからないようご注意ください
・お客様ご自身でのカットに伴うセラミック割れ、リークについては保証をいたしかねますことご了承ください
・電極のカットも有償にて承ります
・端子の配置変更、数量変更、フランジ規格・サイズ変更、多品種の溶接、特注品なども迅速に対応いたします。 ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電流/1本 | 110 A |
| フィードスルー | 5 kV / 110 A |
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| B | 12.7 |
| C | 117 |
| D | 73 |
| P.C.D | 23 |
| 電極数 | 4 |
▼高電圧フィードスルー (ねじなしタイプ)
・電力、ヒーター、ランプ等の用途で使用されています
・電極にねじ切りのないタイプです
・スリムな設計で、ICF70に2本導入可能
・耐電圧6kV DC,電流145A
・電極材質:無酸素銅
・電極数:1,2
▼高電圧フィードスルー は以下のタイプが規格化されています(一覧)
・電極ねじ加工あり:無酸素銅,無酸素銅+ニッケルめっき,SUS
・コンパクトタイプ(電極ねじきりなし):無酸素銅 (5kV 22A),SUS (5kV 3A)
・シリコンプラグタイプ:無酸素銅(3kV 35A,5kV 110A)
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
※ICF70対応の電圧端子用保護カバーもご用意しております
▼その他
・端子の配置変更、数量変更、フランジ規格・サイズ変更、多品種の溶接、特注品なども迅速に対応いたします。 ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 6 kV |
| 電流/1本 | 145 A |
| フィードスルー | 6 kV / 145 A |
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| B | 12.7 |
| C | 61.8 |
| D | 61.2 |
| 電極数 | 1 |
▼高電圧フィードスルー (ねじなしタイプ)
・電力、ヒーター、ランプ等の用途で使用されています
・電極にねじ切りのないタイプです
・スリムな設計で、ICF70に2本導入可能
・耐電圧6kV DC,電流145A
・電極材質:無酸素銅
・電極数:1,2
▼高電圧フィードスルー は以下のタイプが規格化されています(一覧)
・電極ねじ加工あり:無酸素銅,無酸素銅+ニッケルめっき,SUS
・コンパクトタイプ(電極ねじきりなし):無酸素銅 (5kV 22A),SUS (5kV 3A)
・シリコンプラグタイプ:無酸素銅(3kV 35A,5kV 110A)
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
※ICF70対応の電圧端子用保護カバーもご用意しております
▼その他
・端子の配置変更、数量変更、フランジ規格・サイズ変更、多品種の溶接、特注品なども迅速に対応いたします。 ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 6 kV |
| 電流/1本 | 145 A |
| フィードスルー | 6 kV / 145 A |
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| B | 12.7 |
| C | 61.8 |
| D | 61.2 |
| 電極数 | 2 |
▼ICF - VF/VG ハイブリッド変換フランジ
・配管の規格変換用
・フランジ2枚溶接型
・フランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
・接続に必要なボルト、ワッシャーは、製品に含まれております
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152
・フランジサイズ(JIS):10,20,25,40,50,65,80,100,125,150
・材質:SUS304
・ゼロレングスタイプもございます
▼その他
・各種規格変換ニップル、フランジもご用意しております
・ティーやクロス、アダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・1枚型の製作や、製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 内面処理 | 切削品(Ra3.2相当) |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| VF | 40 |
| B | 43.1 |
| M | M6 |
| T | 22.7 |
| T1 | 12.7 |
▼ICF - VF/VG ハイブリッド変換フランジ
・配管の規格変換用
・フランジ2枚溶接型
・フランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
・接続に必要なボルト、ワッシャーは、製品に含まれております
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152
・フランジサイズ(JIS):10,20,25,40,50,65,80,100,125,150
・材質:SUS304
・ゼロレングスタイプもございます
▼その他
・各種規格変換ニップル、フランジもご用意しております
・ティーやクロス、アダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・1枚型の製作や、製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 内面処理 | 切削品(Ra3.2相当) |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| VF | 50 |
| B | 43.1 |
| M | M6 |
| T | 22.7 |
| T1 | 12.7 |
▼ICF - VF/VG ハイブリッド変換フランジ
・配管の規格変換用
・フランジ2枚溶接型
・フランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
・接続に必要なボルト、ワッシャーは、製品に含まれております
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152
・フランジサイズ(JIS):10,20,25,40,50,65,80,100,125,150
・材質:SUS304
・ゼロレングスタイプもございます
▼その他
・各種規格変換ニップル、フランジもご用意しております
・ティーやクロス、アダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・1枚型の製作や、製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 内面処理 | 切削品(Ra3.2相当) |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| VF | 65 |
| B | 43.1 |
| M | M6 |
| T | 22.7 |
| T1 | 12.7 |
▼ICF - VF/VG ハイブリッド変換フランジ
・配管の規格変換用
・フランジ2枚溶接型
・フランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
・接続に必要なボルト、ワッシャーは、製品に含まれております
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152
・フランジサイズ(JIS):10,20,25,40,50,65,80,100,125,150
・材質:SUS304
・ゼロレングスタイプもございます
▼その他
・各種規格変換ニップル、フランジもご用意しております
・ティーやクロス、アダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・1枚型の製作や、製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 内面処理 | 切削品(Ra3.2相当) |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| VF | 80 |
| B | 43.1 |
| M | M6 |
| T | 24.7 |
| T1 | 12.7 |
▼ICF - VF/VG ハイブリッド変換フランジ
・配管の規格変換用
・フランジ2枚溶接型
・フランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
・接続に必要なボルト、ワッシャーは、製品に含まれております
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152
・フランジサイズ(JIS):10,20,25,40,50,65,80,100,125,150
・材質:SUS304
・ゼロレングスタイプもございます
▼その他
・各種規格変換ニップル、フランジもご用意しております
・ティーやクロス、アダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・1枚型の製作や、製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 内面処理 | 切削品(Ra3.2相当) |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| VF | 100 |
| B | 43.1 |
| M | M6 |
| T | 24.7 |
| T1 | 12.7 |
▼ICF - VG ハイブリッド変換フランジ
・配管の規格変換用
・フランジ2枚溶接型
・フランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
・接続に必要なボルト、ワッシャーは、製品に含まれております
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152
・フランジサイズ(JIS):10,20,25,40,50,65,80,100,125,150
・材質:SUS304
・ゼロレングスタイプもございます
▼その他
・各種規格変換ニップル、フランジもご用意しております
・ティーやクロス、アダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・1枚型の製作や、製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 内面処理 | 切削品(Ra3.2相当) |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| VG | 40 |
| B | 43.1 |
| M | M6 |
| T | 22.7 |
| T1 | 12.7 |
▼ICF - VG ハイブリッド変換フランジ
・配管の規格変換用
・フランジ2枚溶接型
・フランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
・接続に必要なボルト、ワッシャーは、製品に含まれております
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152
・フランジサイズ(JIS):10,20,25,40,50,65,80,100,125,150
・材質:SUS304
・ゼロレングスタイプもございます
▼その他
・各種規格変換ニップル、フランジもご用意しております
・ティーやクロス、アダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・1枚型の製作や、製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 内面処理 | 切削品(Ra3.2相当) |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| VG | 50 |
| B | 43.1 |
| M | M6 |
| T | 22.7 |
| T1 | 12.7 |
▼ICF - VG ハイブリッド変換フランジ
・配管の規格変換用
・フランジ2枚溶接型
・フランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
・接続に必要なボルト、ワッシャーは、製品に含まれております
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152
・フランジサイズ(JIS):10,20,25,40,50,65,80,100,125,150
・材質:SUS304
・ゼロレングスタイプもございます
▼その他
・各種規格変換ニップル、フランジもご用意しております
・ティーやクロス、アダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・1枚型の製作や、製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 内面処理 | 切削品(Ra3.2相当) |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| VG | 65 |
| B | 43.1 |
| M | M6 |
| T | 22.7 |
| T1 | 12.7 |
▼ICF - VG ハイブリッド変換フランジ
・配管の規格変換用
・フランジ2枚溶接型
・フランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
・接続に必要なボルト、ワッシャーは、製品に含まれております
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152
・フランジサイズ(JIS):10,20,25,40,50,65,80,100,125,150
・材質:SUS304
・ゼロレングスタイプもございます
▼その他
・各種規格変換ニップル、フランジもご用意しております
・ティーやクロス、アダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・1枚型の製作や、製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 内面処理 | 切削品(Ra3.2相当) |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| VG | 80 |
| B | 43.1 |
| M | M6 |
| T | 22.7 |
| T1 | 12.7 |
▼ICF - VG ハイブリッド変換フランジ
・配管の規格変換用
・フランジ2枚溶接型
・フランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
・接続に必要なボルト、ワッシャーは、製品に含まれております
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152
・フランジサイズ(JIS):10,20,25,40,50,65,80,100,125,150
・材質:SUS304
・ゼロレングスタイプもございます
▼その他
・各種規格変換ニップル、フランジもご用意しております
・ティーやクロス、アダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・1枚型の製作や、製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 内面処理 | 切削品(Ra3.2相当) |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| VG | 100 |
| B | 43.1 |
| M | M6 |
| T | 24.7 |
| T1 | 12.7 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| JIS10K | 15A |
| A | 70 |
| B | 95 |
| C | 21.7 |
| D | 17.5 |
| P.C.D | 70 |
| T | 12 |
| L(長さ) | 60 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| JIS10K | 20A |
| A | 70 |
| B | 100 |
| C | 27.2 |
| D | 23 |
| P.C.D | 75 |
| T | 14 |
| L(長さ) | 60 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| JIS10K | 25A |
| A | 70 |
| B | 125 |
| C | 34 |
| D | 28.4 |
| P.C.D | 90 |
| T | 14 |
| L(長さ) | 60 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| JIS10K | 32A |
| A | 70 |
| B | 135 |
| C | 42.7 |
| D | 37.1 |
| P.C.D | 100 |
| T | 16 |
| L(長さ) | 60 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| JIS10K | 40A |
| A | 70 |
| B | 140 |
| C | 42.7 |
| D | 37.1 |
| P.C.D | 105 |
| T | 16 |
| L(長さ) | 60 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
|---|---|
| 内面処理 | GBB処理 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| JIS10K | 50A |
| A | 70 |
| B | 155 |
| C | 42.7 |
| D | 37.1 |
| P.C.D | 120 |
| T | 16 |
| L(長さ) | 60 |
▼リークバルブ
・真空装置内に大気や特定ガスを導入可能なリークバルブ
・高真空、超高真空装置(10⁻⁷Pa程度)にご使用いただけます
・NW/KFタイプ,ICFタイプでご用意しております
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| オリフィス径 | Φ3.5 mm |
| 最高温度 | 125℃ |
| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
| 軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
| バルブボディ軸 | SUS 304 |
| 弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
| ハンドル | フェノール樹脂 |
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| D | 27 |
| L(長さ) | 75.5~82.5 |