フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |