 フィードスルー
                        フィードスルー
                     絶縁碍子
                        絶縁碍子
                     ビューポート
                        ビューポート
                     真空配管部品
                        真空配管部品
                     真空バルブ
                        真空バルブ
                     導入機
                        導入機
                     その他
                        その他
                    
| インナーリング | SUS 316L | 
|---|---|
| シール/ガスケット材質 | バイトン® | 
| 最高温度 | 200℃ | 
| 最低温度 | -20℃ | 
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa | 
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec | 
| 非磁性 | ○ | 
| 耐薬品性 | ○ | 
| クリーンルーム対応 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| 加圧 | △ | 
| インナーリング | テフロン® | 
|---|---|
| シール/ガスケット材質 | バイトン® | 
| 最高温度 | 200℃ | 
| 最低温度 | -20℃ | 
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa | 
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec | 
| 非磁性 | ○ | 
| 耐薬品性 | ◎ | 
| クリーンルーム対応 | ○ | 
| 絶縁性 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| シール/ガスケット材質 | アルミ | 
|---|---|
| 最高温度 | 150℃ | 
| 最低温度 | -270℃ | 
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa | 
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec | 
| 加圧 | - | 
| 非磁性 | ○ | 
| 耐放射線性 | ○ | 
| 耐薬品性 | △ | 
| クリーンルーム対応 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| シール/ガスケット材質 | バイトン® | 
|---|---|
| 最高温度 | 200℃ | 
| 最低温度 | -20℃ | 
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa | 
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec | 
| 加圧 | ○ | 
| 非磁性 | ○ | 
| クリーンルーム対応 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| アウターリング | テフロン® | 
|---|---|
| インナーリング | テフロン® | 
| 非磁性 | ○ | 
| 耐薬品性 | ◎ | 
| クリーンルーム対応 | ○ | 
| 絶縁性 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ |