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NW25フランジの接続作業で、フランジ面の清拭とOリング点検を省略し、さらに蝶ねじクランプを一点のみで力任せに締め込んだ結果、片締め状態となってリークが発生。正しい手順を知らず、リーク箇所の特定に長時間を費やした。
真空用クランプの蝶ねじタイプは1点締め構造のため、対角線上に均等な力が伝わりにくい。特に片締めが発生すると、締め付け部分の反対側に十分な圧縮力が働かず、その部分からリークが発生する。
また、フランジ面やOリングの微細な汚れも真空漏れの主要因となる。油分や微粒子がシール面に介在すると、わずかな隙間でも真空度に大きく影響する。