▼ステージ
・ICFフランジ規格可動式ステージです
・タイプ:XY軸,XYZ軸,1軸リニアステージ
・可動部はベローズシール方式
・ベーク耐熱:200℃まで
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | SUS 304 |
---|---|
ICF | 70 |
X軸 | ±5 |
Y軸 | ±5 |
繰り返し精度 | 0.1mm以下 |
寿命 | 100回 |
有効内径 | 38.5 |
▼ステージ
・ICFフランジ規格可動式ステージです
・タイプ:XY軸,XYZ軸,1軸リニアステージ
・可動部はベローズシール方式
・ベーク耐熱:200℃まで
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | SUS 304 |
---|---|
ICF | 70 |
X軸 | ±5 |
Y軸 | ±5 |
繰り返し精度 | 0.01mm以下 |
寿命 | 5000回 |
有効内径 | 35 |
▼ステージ
・ICFフランジ規格可動式ステージです
・タイプ:XY軸,XYZ軸,1軸リニアステージ
・可動部はベローズシール方式
・ベーク耐熱:200℃まで
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS 304 |
---|---|
ICF | 70 |
ストローク | 25 mm |
繰り返し精度 | 0.2mm以下 |
有効内径 | 36 |
▼ステージ
・ICFフランジ規格可動式ステージです
・タイプ:XY軸,XYZ軸,1軸リニアステージ
・可動部はベローズシール方式
・ベーク耐熱:200℃まで
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS 304 |
---|---|
ICF | 70 |
ストローク | 50 mm |
繰り返し精度 | 0.2mm以下 |
有効内径 | 36 |
▼ビューポート フッ化バリウム(BaF2)
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├フッ化バリウム(BaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
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フランジ材質 | SUS 304L |
---|---|
窓 | フッ化バリウム |
最高温度 | 120℃ |
最低温度 | -45℃ |
ICF | 70 |
A | 70 |
T | 4 |
H1 | 12.7 |
V(有効径) | 32 |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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シール/ガスケット材質 | バイトン® |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
接続径(φ) | 2 mm |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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シール/ガスケット材質 | バイトン® |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
接続径(φ) | 3 mm |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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シール/ガスケット材質 | バイトン® |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
接続径(φ) | 4 mm |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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シール/ガスケット材質 | バイトン® |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
接続径(φ) | 5 mm |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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シール/ガスケット材質 | バイトン® |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
接続径(φ) | 6 mm |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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シール/ガスケット材質 | バイトン® |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
接続径(φ) | 8 mm |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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シール/ガスケット材質 | バイトン® |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
接続径(φ) | 1/4 inch |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
接続径(φ) | 3/8 inch |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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RoHS2対応 | ○ |
---|---|
ICF | 70 |
A | 70 |
B | 30 |
商品内容 | 本体 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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RoHS2対応 | ○ |
---|---|
A | 40 |
T | 4 |
窓 | 石英 |
商品内容 | 窓 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
RoHS2対応 | ○ |
---|---|
ICF | 70 |
商品内容 | パッキン |
▼高電圧フィードスルー (全ねじタイプ)
・電力、ヒーター、ランプ等の用途で使用されています
・真空側の電極が全面ねじ切りのタイプです
・電圧5kV DC,電流110A
・電極材質:無酸素銅+Niめっき
・電極数:1,2,3,4
・接続用SUSナット(M5)、ワッシャが電極1本あたり各4個付属
▼高電圧フィードスルー は以下のタイプが規格化されています(一覧)
・電極ねじ加工あり:無酸素銅,無酸素銅+ニッケルめっき,SUS
・コンパクトタイプ(電極ねじきりなし):無酸素銅 (5kV 22A),SUS (5kV 3A)
・シリコンプラグタイプ:無酸素銅(3kV 35A,5kV 110A)
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
※ICF70対応の電圧端子用保護カバーもご用意しております
▼その他
・真空側は任意の長さにカットしてご利用いただくことも可能です
・電極をカットする場合には、セラミックに力がかからないようご注意ください
・お客様ご自身でのカットに伴うセラミック割れ、リークについては保証をいたしかねますことご了承ください
・電極のカットも有償にて承ります
・端子の配置変更、数量変更、フランジ規格・サイズ変更、多品種の溶接、特注品なども迅速に対応いたします。 ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
タイプ | 高電圧・高電流 |
---|---|
電極 | 無酸素銅+ Niめっき |
フランジ材質 | SUS 304 |
スリーブ | コバール® |
絶縁体 | アルミナセラミック |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
耐電圧: DC | 5 kV |
電流/1本 | 110 A |
フィードスルー | 5 kV / 110 A |
ICF | 70 |
A | 70 |
B | 12.7 |
C | 117 |
D | 73 |
電極数 | 1 |
▼高電圧フィードスルー (全ねじタイプ)
・電力、ヒーター、ランプ等の用途で使用されています
・真空側の電極が全面ねじ切りのタイプです
・電圧5kV DC,電流110A
・電極材質:無酸素銅+Niめっき
・電極数:1,2,3,4
・接続用SUSナット(M5)、ワッシャが電極1本あたり各4個付属
▼高電圧フィードスルー は以下のタイプが規格化されています(一覧)
・電極ねじ加工あり:無酸素銅,無酸素銅+ニッケルめっき,SUS
・コンパクトタイプ(電極ねじきりなし):無酸素銅 (5kV 22A),SUS (5kV 3A)
・シリコンプラグタイプ:無酸素銅(3kV 35A,5kV 110A)
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
※ICF70対応の電圧端子用保護カバーもご用意しております
▼その他
・真空側は任意の長さにカットしてご利用いただくことも可能です
・電極をカットする場合には、セラミックに力がかからないようご注意ください
・お客様ご自身でのカットに伴うセラミック割れ、リークについては保証をいたしかねますことご了承ください
・電極のカットも有償にて承ります
・端子の配置変更、数量変更、フランジ規格・サイズ変更、多品種の溶接、特注品なども迅速に対応いたします。 ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
タイプ | 高電圧・高電流 |
---|---|
電極 | 無酸素銅+ Niめっき |
フランジ材質 | SUS 304 |
スリーブ | コバール® |
絶縁体 | アルミナセラミック |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
耐電圧: DC | 5 kV |
電流/1本 | 110 A |
フィードスルー | 5 kV / 110 A |
ICF | 70 |
A | 70 |
B | 12.7 |
C | 117 |
D | 73 |
P.C.D | 20 |
電極数 | 2 |
▼高電圧フィードスルー (全ねじタイプ)
・電力、ヒーター、ランプ等の用途で使用されています
・真空側の電極が全面ねじ切りのタイプです
・電圧5kV DC,電流110A
・電極材質:無酸素銅+Niめっき
・電極数:1,2,3,4
・接続用SUSナット(M5)、ワッシャが電極1本あたり各4個付属
▼高電圧フィードスルー は以下のタイプが規格化されています(一覧)
・電極ねじ加工あり:無酸素銅,無酸素銅+ニッケルめっき,SUS
・コンパクトタイプ(電極ねじきりなし):無酸素銅 (5kV 22A),SUS (5kV 3A)
・シリコンプラグタイプ:無酸素銅(3kV 35A,5kV 110A)
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
※ICF70対応の電圧端子用保護カバーもご用意しております
▼その他
・真空側は任意の長さにカットしてご利用いただくことも可能です
・電極をカットする場合には、セラミックに力がかからないようご注意ください
・お客様ご自身でのカットに伴うセラミック割れ、リークについては保証をいたしかねますことご了承ください
・電極のカットも有償にて承ります
・端子の配置変更、数量変更、フランジ規格・サイズ変更、多品種の溶接、特注品なども迅速に対応いたします。 ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
タイプ | 高電圧・高電流 |
---|---|
電極 | 無酸素銅+ Niめっき |
フランジ材質 | SUS 304 |
スリーブ | コバール® |
絶縁体 | アルミナセラミック |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
耐電圧: DC | 5 kV |
電流/1本 | 110 A |
フィードスルー | 5 kV / 110 A |
ICF | 70 |
A | 70 |
B | 12.7 |
C | 117 |
D | 73 |
P.C.D | 23 |
電極数 | 3 |
▼高電圧フィードスルー (全ねじタイプ)
・電力、ヒーター、ランプ等の用途で使用されています
・真空側の電極が全面ねじ切りのタイプです
・電圧5kV DC,電流110A
・電極材質:無酸素銅+Niめっき
・電極数:1,2,3,4
・接続用SUSナット(M5)、ワッシャが電極1本あたり各4個付属
▼高電圧フィードスルー は以下のタイプが規格化されています(一覧)
・電極ねじ加工あり:無酸素銅,無酸素銅+ニッケルめっき,SUS
・コンパクトタイプ(電極ねじきりなし):無酸素銅 (5kV 22A),SUS (5kV 3A)
・シリコンプラグタイプ:無酸素銅(3kV 35A,5kV 110A)
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
※ICF70対応の電圧端子用保護カバーもご用意しております
▼その他
・真空側は任意の長さにカットしてご利用いただくことも可能です
・電極をカットする場合には、セラミックに力がかからないようご注意ください
・お客様ご自身でのカットに伴うセラミック割れ、リークについては保証をいたしかねますことご了承ください
・電極のカットも有償にて承ります
・端子の配置変更、数量変更、フランジ規格・サイズ変更、多品種の溶接、特注品なども迅速に対応いたします。 ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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タイプ | 高電圧・高電流 |
---|---|
電極 | 無酸素銅+ Niめっき |
フランジ材質 | SUS 304 |
スリーブ | コバール® |
絶縁体 | アルミナセラミック |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
耐電圧: DC | 5 kV |
電流/1本 | 110 A |
フィードスルー | 5 kV / 110 A |
ICF | 70 |
A | 70 |
B | 12.7 |
C | 117 |
D | 73 |
P.C.D | 23 |
電極数 | 4 |