フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
|---|---|
| ボディ | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| 接続径(φ) | 4 mm |
| D | 39 |
| P.C.D | 22 |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
|---|---|
| ボディ | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| 接続径(φ) | 5 mm |
| D | 44 |
| P.C.D | 22 |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
|---|---|
| ボディ | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| 接続径(φ) | 6 mm |
| D | 44 |
| P.C.D | 22 |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
|---|---|
| ボディ | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| 接続径(φ) | 8 mm |
| D | 43 |
| P.C.D | 22 |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
|---|---|
| ボディ | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| 接続径(φ) | 1/4 inch |
| D | 35 |
| P.C.D | 22 |
▼デュアルアダプタ ゲージポート/ウィルソンシール
・1つのフランジから2本のチューブを導入可能
・真空計測定子やチューブ配管などの導入に使用されます
・ポート内はOリング封止
・デュアルタイプはいずれも内部に段のない形状です
※ゲージポートの呼び径は差し込む管の外径です
例)GP10→φ10管を挿入可能
▼特注品も対応いたします
長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
|---|---|
| ボディ | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| 接続径(φ) | 3/8 inch |
| B | 53 |
| D | 35 |
| P.C.D | 22 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| B | 30 |
| 商品内容 | 本体 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 70 |
| A | 40 |
| T | 4 |
| 窓 | 石英 |
| 商品内容 | 窓 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 70 |
| 商品内容 | パッキン |
▼高電圧フィードスルー (全ねじタイプ)
・電力、ヒーター、ランプ等の用途で使用されています
・真空側の電極が全面ねじ切りのタイプです
・電圧5kV DC,電流110A
・電極材質:無酸素銅+Niめっき
・電極数:1,2,3,4
・接続用SUSナット(M5)、ワッシャが電極1本あたり各4個付属
▼高電圧フィードスルー は以下のタイプが規格化されています(一覧)
・電極ねじ加工あり:無酸素銅,無酸素銅+ニッケルめっき,SUS
・コンパクトタイプ(電極ねじきりなし):無酸素銅 (5kV 22A),SUS (5kV 3A)
・シリコンプラグタイプ:無酸素銅(3kV 35A,5kV 110A)
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
※ICF70対応の電圧端子用保護カバーもご用意しております
▼その他
・真空側は任意の長さにカットしてご利用いただくことも可能です
・電極をカットする場合には、セラミックに力がかからないようご注意ください
・お客様ご自身でのカットに伴うセラミック割れ、リークについては保証をいたしかねますことご了承ください
・電極のカットも有償にて承ります
・端子の配置変更、数量変更、フランジ規格・サイズ変更、多品種の溶接、特注品なども迅速に対応いたします。 ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅+ Niめっき |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電流/1本 | 110 A |
| フィードスルー | 5 kV / 110 A |
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| B | 12.7 |
| C | 117 |
| D | 73 |
| 電極数 | 1 |
▼高電圧フィードスルー (全ねじタイプ)
・電力、ヒーター、ランプ等の用途で使用されています
・真空側の電極が全面ねじ切りのタイプです
・電圧5kV DC,電流110A
・電極材質:無酸素銅+Niめっき
・電極数:1,2,3,4
・接続用SUSナット(M5)、ワッシャが電極1本あたり各4個付属
▼高電圧フィードスルー は以下のタイプが規格化されています(一覧)
・電極ねじ加工あり:無酸素銅,無酸素銅+ニッケルめっき,SUS
・コンパクトタイプ(電極ねじきりなし):無酸素銅 (5kV 22A),SUS (5kV 3A)
・シリコンプラグタイプ:無酸素銅(3kV 35A,5kV 110A)
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
※ICF70対応の電圧端子用保護カバーもご用意しております
▼その他
・真空側は任意の長さにカットしてご利用いただくことも可能です
・電極をカットする場合には、セラミックに力がかからないようご注意ください
・お客様ご自身でのカットに伴うセラミック割れ、リークについては保証をいたしかねますことご了承ください
・電極のカットも有償にて承ります
・端子の配置変更、数量変更、フランジ規格・サイズ変更、多品種の溶接、特注品なども迅速に対応いたします。 ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅+ Niめっき |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電流/1本 | 110 A |
| フィードスルー | 5 kV / 110 A |
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| B | 12.7 |
| C | 117 |
| D | 73 |
| P.C.D | 20 |
| 電極数 | 2 |
▼高電圧フィードスルー (全ねじタイプ)
・電力、ヒーター、ランプ等の用途で使用されています
・真空側の電極が全面ねじ切りのタイプです
・電圧5kV DC,電流110A
・電極材質:無酸素銅+Niめっき
・電極数:1,2,3,4
・接続用SUSナット(M5)、ワッシャが電極1本あたり各4個付属
▼高電圧フィードスルー は以下のタイプが規格化されています(一覧)
・電極ねじ加工あり:無酸素銅,無酸素銅+ニッケルめっき,SUS
・コンパクトタイプ(電極ねじきりなし):無酸素銅 (5kV 22A),SUS (5kV 3A)
・シリコンプラグタイプ:無酸素銅(3kV 35A,5kV 110A)
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
※ICF70対応の電圧端子用保護カバーもご用意しております
▼その他
・真空側は任意の長さにカットしてご利用いただくことも可能です
・電極をカットする場合には、セラミックに力がかからないようご注意ください
・お客様ご自身でのカットに伴うセラミック割れ、リークについては保証をいたしかねますことご了承ください
・電極のカットも有償にて承ります
・端子の配置変更、数量変更、フランジ規格・サイズ変更、多品種の溶接、特注品なども迅速に対応いたします。 ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅+ Niめっき |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電流/1本 | 110 A |
| フィードスルー | 5 kV / 110 A |
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| B | 12.7 |
| C | 117 |
| D | 73 |
| P.C.D | 23 |
| 電極数 | 3 |
▼高電圧フィードスルー (全ねじタイプ)
・電力、ヒーター、ランプ等の用途で使用されています
・真空側の電極が全面ねじ切りのタイプです
・電圧5kV DC,電流110A
・電極材質:無酸素銅+Niめっき
・電極数:1,2,3,4
・接続用SUSナット(M5)、ワッシャが電極1本あたり各4個付属
▼高電圧フィードスルー は以下のタイプが規格化されています(一覧)
・電極ねじ加工あり:無酸素銅,無酸素銅+ニッケルめっき,SUS
・コンパクトタイプ(電極ねじきりなし):無酸素銅 (5kV 22A),SUS (5kV 3A)
・シリコンプラグタイプ:無酸素銅(3kV 35A,5kV 110A)
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
※ICF70対応の電圧端子用保護カバーもご用意しております
▼その他
・真空側は任意の長さにカットしてご利用いただくことも可能です
・電極をカットする場合には、セラミックに力がかからないようご注意ください
・お客様ご自身でのカットに伴うセラミック割れ、リークについては保証をいたしかねますことご了承ください
・電極のカットも有償にて承ります
・端子の配置変更、数量変更、フランジ規格・サイズ変更、多品種の溶接、特注品なども迅速に対応いたします。 ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅+ Niめっき |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電流/1本 | 110 A |
| フィードスルー | 5 kV / 110 A |
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| B | 12.7 |
| C | 117 |
| D | 73 |
| P.C.D | 23 |
| 電極数 | 4 |
SMPMコネクタです。
SMPよりさらに小さい超小型・高密度です。
両側プッシュオンのプラグ接続のため取り付けが容易です。
ガラスハーメで気密封止しております。
| 耐電圧: DC | 500 V |
|---|---|
| 電流/1本 | Milli |
| 周波数 | 65 GHz |
| 最高温度 | 165℃ |
| 最低温度 | -55℃ |
| インピーダンス | 50 Ω |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| ICF | 70 |
| 電極数 | 25 |
▼ポートアライナー
・位置調整機能のついたベローズ配管
・側面のタイロッドで任意の長さに固定可能
・位置決めや真空引き時の意図しない縮み防止に
・伸縮量:20mm(軸方向)
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | SUS 316L |
| 寿命 | 10000回 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| C | 51 |
| D | 37 |
| L(長さ) | 71 |
| L1 | 61 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 16 |
| ICF | 70 |
| 内面処理 | バフ400(Ra1.0)相当 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 25 |
| ICF | 70 |
| 内面処理 | バフ400(Ra1.0)相当 |