フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
▼バリアブルリークバルブ
・導入ガス流量の調節用
・オールメタル製(ベーキング450℃まで)
・超高真空対応(大気~10⁻⁸Pa 程度)
・用途:スパッタ装置や実験装置など
▼仕様
・ガスOUTLET:ICF70ポート
・ガスINLET:ICF34ポート
・調節可能最小リーク量:6.7x10E-9Pa・sec以下
※Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2Mpa時
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-8</sup> Pa |
|---|---|
| 調整可能最小リーク量※1 | <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| 最高温度 | 450℃ |
| ボディ | SUS 304 |
| シール/ガスケット材質 | WC系超硬合金/Cu合金 |
| ICF | 70 |
| ガスINLET側 | Φ8 |
▼ICF 回転ゼロレングス変換フランジ
・配管の口径調整用
・1枚のフランジで変換できるため省スペースで設置可能
・小径側が360°回転でき、フランジ同士の位置合わせが容易です
・ICFフランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
▼以下のタイプが規格化されています
・大径側フランジサイズ:70,114,152,203,253
・小径側フランジサイズ:34,70,114,152,203
・材質:SUS304
・各種規格変換ニップルもご用意しております
▼その他
・両面固定タイプもございます
・クロス管やアダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| ICF | 34 |
| A | 70 |
| B | 16 |
| M(深さ) | 6-M4(7.5) |
| T | 12.7 |
| P.C.D | 58.7 |
| 固定・回転 | 回転 |
▼ICF トラップ
・ガスや液体の捕集、保存が可能な容器型フランジ
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152,203,253
・材質:SUS304
・内面底部は液だまり防止のためR付き
▼オプション
・材質変更、長さ変更、電解研磨などもご相談ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 内面処理 | バフ400(Ra1.0)相当 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| C | 38 |
| D | 35 |
| L(長さ) | 65 |
| T | 2 |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 10 |
| L1 | 50~75 |
| L2 | 152 |
| ストローク | 25 mm |
| 送り量 | 2mm/Rev |
| 最小目盛 | 0.05mm |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 直線のみ |
| 最大許容推力 | 20kg |
| 方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 8 |
| L1 | 50~90 |
| L2 | 170 |
| ストローク | 40 mm |
| 送り量 | 1mm/Rev |
| 最小目盛 | 0.05mm |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 直線のみ |
| 最大許容推力 | 15kg |
| 方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 10 |
| L1 | 50~100 |
| L2 | 190 |
| ストローク | 50 mm |
| 送り量 | 2mm/Rev |
| 最小目盛 | 0.05mm |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 直線のみ |
| 最大許容推力 | 20kg |
| 方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 8 |
| L1 | 50~120 |
| L2 | 253 |
| ストローク | 70 mm |
| 送り量 | 1mm/Rev |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 直線のみ |
| 最大許容推力 | 15kg |
| 方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 8 |
| L1 | 50~150 |
| L2 | 333 |
| ストローク | 100 mm |
| 送り量 | 1mm/Rev |
| 最小目盛 | 0.05mm |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 直線のみ |
| 最大許容推力 | 15kg |
| 方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 6 |
| L1 | 50~130 |
| L2 | 447.2 |
| ストローク | 80 mm |
| 送り量 | 1mm/Rev(0.02μm/pulse) |
| 最小目盛 | 0.00002mm/pulse |
| 分類 | モーター |
| 動作 | 直線のみ |
| 最大許容推力 | 15kg |
| 方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 10 |
| L1 | 50 |
| L2 | 125 |
| 最小目盛 | 5° |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 回転のみ |
| 方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 15 |
| L1 | 50 |
| L2 | 107.5 |
| 最小目盛 | - |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 回転のみ |
| 最大許容推力 | 30kg(脱調35kg) |
| 方式 | マグネット |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 15 |
| L1 | 50 |
| L2 | 150.5 |
| 最小目盛 | - |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 回転のみ |
| 最大許容推力 | 60kg(脱調70kg) |
| 方式 | マグネット |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 10 |
| L1 | 50~150 |
| L2 | 654 |
| ストローク | 100 mm |
| 最小目盛 | 5° |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 直線、回転 |
| 最大許容推力 | 直進/回転5kg |
| 方式 | マグネット |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 10 |
| L1 | 50~250 |
| L2 | 654 |
| ストローク | 200mm |
| 最小目盛 | 5° |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 直線、回転 |
| 最大許容推力 | 直進/回転5kg |
| 方式 | マグネット |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 10 |
| L1 | 50~350 |
| L2 | 654 |
| ストローク | 300mm |
| 最小目盛 | 5° |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 直線、回転 |
| 最大許容推力 | 直進/回転5kg |
| 方式 | マグネット |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 10 |
| L1 | 50~450 |
| L2 | 654 |
| ストローク | 400mm |
| 最小目盛 | 5° |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 直線、回転 |
| 最大許容推力 | 直進/回転5kg |
| 方式 | マグネット |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 10 |
| L1 | 50~550 |
| L2 | 654 |
| ストローク | 500 mm |
| 最小目盛 | 5° |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 直線、回転 |
| 最大許容推力 | 直進/回転5kg |
| 方式 | マグネット |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 最高温度 | 120℃ |
|---|---|
| リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| C | 13.8 |
| L1 | 80~580 |
| L2 | 500 |
| ストローク | 500 mm |
| 最小目盛 | - |
| 分類 | 手動 |
| 動作 | 直線、回転 |
| 最大許容推力 | 直進/回転5kg |
| 方式 | マグネット |
▼多ピン BURNDY® ガイド付き 複数端子
・複数の端子を組み合わせたハイブリッド型フィードスルー
・用途別に端子を分けられるため使い分けしやすい
・端子:多ピン高電流タイプ,K熱電対,T熱電対
・電力導入と熱計測を1ポートで実現可能
※熱電対用電極は熱計測を前提としているため、耐電流値の参考データはありません
▼特注品も対応いたします
複数・異種端子の組み合わせ・フランジサイズの変更・特殊フランジへの取り付けも承ります
ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 耐電圧: DC | 500 V |
|---|---|
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 周波数 | 10 MHz |
| 接続タイプ | BURNDY |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| タイプ | 高電流 |
| A | 70 |
| B | 12.7 |
| D1 | 37 |
| D2 | 37 |
| 商品内容 | フランジ付き端子のみ |
| 電極数 | 8(4+4) |
| 電流/1本 | 10 A |
| 総電流/1端子 | 33.1 A |
▼多ピン BURNDY® ガイド付き 複数端子
・複数の端子を組み合わせたハイブリッド型フィードスルー
・用途別に端子を分けられるため使い分けしやすい
・端子:多ピン高電流タイプ,K熱電対,T熱電対
・電力導入と熱計測を1ポートで実現可能
※熱電対用電極は熱計測を前提としているため、耐電流値の参考データはありません
▼特注品も対応いたします
複数・異種端子の組み合わせ・フランジサイズの変更・特殊フランジへの取り付けも承ります
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| 耐電圧: DC | 500 V |
|---|---|
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 周波数 | 10 MHz |
| 接続タイプ | BURNDY |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| タイプ | 高電流 |
| A | 70 |
| B | 12.7 |
| D1 | 37 |
| D2 | 37 |
| 商品内容 | セット品 |
| 電極数 | 8(4+4) |
| 電流/1本 | 10 A |
| 総電流/1端子 | 33.1 A |