真空部品 約8000種類 を常時在庫 当日出荷は17時まで受付(営業時間9:00〜18:00 土日祝除く)
フランジ材質 | 石英 |
---|---|
窓 | 合成石英 |
最高温度 | 1000℃ |
最低温度 | -50℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup>Pa |
対応シール | 専用エラストマーシール |
耐放射線性 | ○ |
クリーンルーム対応 | ◎ |
絶縁性 | ○ |
仕上げ | 標準 |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | チタン |
---|---|
窓 | 合成石英 |
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
リークレート | <1.0x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 34 |
A | 34 |
H | 9 |
T(ガラス厚) | 2.2 |
V(有効径) | 16 |
対応レーザー | UV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 70 |
A | 70 |
H | 13 |
T(ガラス厚) | 3.3 |
V(有効径) | 36 |
対応レーザー | UV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 114 |
A | 114 |
H | 17 |
T(ガラス厚) | 6.4 |
V(有効径) | 68 |
対応レーザー | UV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 152 |
A | 152 |
H | 20 |
T(ガラス厚) | 6.4 |
V(有効径) | 99 |
対応レーザー | UV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 203 |
A | 203 |
H | 22 |
T(ガラス厚) | 9.4 |
V(有効径) | 137 |
対応レーザー | UV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 253 |
A | 253 |
H | 25 |
T(ガラス厚) | 9.4 |
V(有効径) | 198 |
対応レーザー | UV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 34 |
A | 34 |
H | 9 |
T(ガラス厚) | 2.2 |
V(有効径) | 16 |
対応レーザー | DUV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 70 |
A | 70 |
H | 13 |
T(ガラス厚) | 3.3 |
V(有効径) | 36 |
対応レーザー | DUV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 114 |
A | 114 |
H | 17 |
T(ガラス厚) | 6.4 |
V(有効径) | 68 |
対応レーザー | DUV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 152 |
A | 152 |
H | 20 |
T(ガラス厚) | 6.4 |
V(有効径) | 99 |
対応レーザー | DUV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 203 |
A | 203 |
H | 22 |
T(ガラス厚) | 9.4 |
V(有効径) | 137 |
対応レーザー | DUV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 253 |
A | 253 |
H | 25 |
T(ガラス厚) | 9.4 |
V(有効径) | 198 |
対応レーザー | DUV |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 34 |
A | 34 |
H | 9 |
T(ガラス厚) | 2.2 |
V(有効径) | 16 |
対応レーザー | EUV(エキシマ) |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 70 |
A | 70 |
H | 13 |
T(ガラス厚) | 3.3 |
V(有効径) | 36 |
対応レーザー | EUV(エキシマ) |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 114 |
A | 114 |
H | 17 |
T(ガラス厚) | 6.4 |
V(有効径) | 68 |
対応レーザー | EUV(エキシマ) |
▼ビューポート 合成石英
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
窓 | 合成石英 |
---|---|
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -100℃ |
フランジ材質 | SUS 304 |
ICF | 152 |
A | 152 |
H | 20 |
T(ガラス厚) | 6.4 |
V(有効径) | 99 |
対応レーザー | EUV(エキシマ) |
▼ビューポート 合成石英(メカニカルシール)
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
・メカニカルシールで亜鉛フリー
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG,CeFiX®,サニタリー
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
窓 | 合成石英 |
最高温度 | 200℃ |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 114 |
A | 114 |
H | 17.4 |
T(ガラス厚) | 4 |
V(有効径) | 60 |
▼EVACガラスフランジ(ビューポート)
・内部を容易に観察できるので、プラズマ、高温用途での制御に好適
・全面ガラス面のため有効径が広い
・真空 10-7Pa 台に対応
・光学研磨を施した、レーザー透過用窓もラインナップ
・最高使用温度:Duran® 450℃,石英 1000℃
※センターリングの使用温度にご注意ください(200℃程度)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・Duran®(ホウケイ酸ガラス)フランジ:可視用。紫外光を遮蔽することが可能です
・石英フランジ:紫外光を透過させるのに最適です
・光学研磨を施した、レーザー透過用窓もラインナップ(Duran® / 溶融石英)
▼ご使用時はガラス製品用のセンターリング、樹脂クランプをお選びください。
・ガラスーガラス用、ガラスー金属用ともにこちらよりご確認いただけます。
※金属用、ガラス用でそれぞれ厚みが違います
・樹脂クランプはこちらよりご確認いただけます。
※締結時はトルクのかけすぎにご注意ください
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | 石英 |
---|---|
窓 | 合成石英 |
最高温度 | 1000℃ |
最低温度 | -50℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup>Pa |
対応シール | 専用エラストマーシール |
耐放射線性 | ○ |
クリーンルーム対応 | ◎ |
絶縁性 | ○ |
仕上げ | 標準 |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 16 |
A | 30 |
V(有効径) | 16 |
▼EVACガラスフランジ(ビューポート)
・内部を容易に観察できるので、プラズマ、高温用途での制御に好適
・全面ガラス面のため有効径が広い
・真空 10-7Pa 台に対応
・光学研磨を施した、レーザー透過用窓もラインナップ
・最高使用温度:Duran® 450℃,石英 1000℃
※センターリングの使用温度にご注意ください(200℃程度)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・Duran®(ホウケイ酸ガラス)フランジ:可視用。紫外光を遮蔽することが可能です
・石英フランジ:紫外光を透過させるのに最適です
・光学研磨を施した、レーザー透過用窓もラインナップ(Duran® / 溶融石英)
▼ご使用時はガラス製品用のセンターリング、樹脂クランプをお選びください。
・ガラスーガラス用、ガラスー金属用ともにこちらよりご確認いただけます。
※金属用、ガラス用でそれぞれ厚みが違います
・樹脂クランプはこちらよりご確認いただけます。
※締結時はトルクのかけすぎにご注意ください
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | 石英 |
---|---|
窓 | 合成石英 |
最高温度 | 1000℃ |
最低温度 | -50℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup>Pa |
対応シール | 専用エラストマーシール |
耐放射線性 | ○ |
クリーンルーム対応 | ◎ |
絶縁性 | ○ |
仕上げ | 標準 |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 25 |
A | 40 |
V(有効径) | 24 |
▼EVACガラスフランジ(ビューポート)
・内部を容易に観察できるので、プラズマ、高温用途での制御に好適
・全面ガラス面のため有効径が広い
・真空 10-7Pa 台に対応
・光学研磨を施した、レーザー透過用窓もラインナップ
・最高使用温度:Duran® 450℃,石英 1000℃
※センターリングの使用温度にご注意ください(200℃程度)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・Duran®(ホウケイ酸ガラス)フランジ:可視用。紫外光を遮蔽することが可能です
・石英フランジ:紫外光を透過させるのに最適です
・光学研磨を施した、レーザー透過用窓もラインナップ(Duran® / 溶融石英)
▼ご使用時はガラス製品用のセンターリング、樹脂クランプをお選びください。
・ガラスーガラス用、ガラスー金属用ともにこちらよりご確認いただけます。
※金属用、ガラス用でそれぞれ厚みが違います
・樹脂クランプはこちらよりご確認いただけます。
※締結時はトルクのかけすぎにご注意ください
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | 石英 |
---|---|
窓 | 合成石英 |
最高温度 | 1000℃ |
最低温度 | -50℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup>Pa |
対応シール | 専用エラストマーシール |
耐放射線性 | ○ |
クリーンルーム対応 | ◎ |
絶縁性 | ○ |
仕上げ | 標準 |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 40 |
A | 55 |
V(有効径) | 40 |