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バリアブルリークバルブ 製品一覧 真空配管部品

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  • 製品コード :26551
    型式 :ICF70VLV

    ▼バリアブルリークバルブ
    ・導入ガス流量の調節用
    ・オールメタル製(ベーキング450℃まで)
    ・超高真空対応(大気~10⁻⁸Pa 程度)
    ・用途:スパッタ装置や実験装置など

    ▼仕様
    ・ガスOUTLET:ICF70ポート
    ・ガスINLET:ICF34ポート
    ・調節可能最小リーク量:6.7x10E-9Pa・sec以下
    ※Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2Mpa時

    ▼その他
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-8</sup> Pa
    調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec
    バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec
    最高温度 450℃
    ボディ SUS 304
    シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金
    ICF 70
    ガスINLET側 Φ8
    255,000円 (税込280,500円)
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