フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | ステンレス |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -100℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 耐電圧: DC | 25 kV |
| 電流/1本 | 50 A |
| フィードスルー | 25 kV / 50 A |
| VG | 40 |
| 電極数 | 3 |
| D | 102.6 |
| C | 59.9 |
| B | 10 |
| A | 105 |
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | ステンレス |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -100℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 耐電圧: DC | 25 kV |
| 電流/1本 | 50 A |
| フィードスルー | 25 kV / 50 A |
| VG | 50 |
| 電極数 | 3 |
| D | 102.6 |
| C | 59.9 |
| B | 10 |
| A | 120 |