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続きを見る| フランジ材質 | SUS 304 | 
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス | 
| 最高温度 | 350℃ | 
| リークレート | <1.0x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| フランジ材質 | SUS 304 | 
|---|---|
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa | 
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| フランジ材質 | SUS(329J3L) | 
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス | 
| 最高温度 | 280℃ | 
| 最低温度 | -20℃ | 
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa | 
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa | 
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール | 
| 加圧 | ○ | 
| 非磁性 | ○ | 
| 耐薬品性 | ◎ | 
| クリーンルーム対応 | ○ | 
| 絶縁性 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa | 
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール | 
| 加圧 | ○ | 
| 非磁性 | ○ | 
| 耐薬品性 | ◎ | 
| クリーンルーム対応 | ○ | 
| 絶縁性 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa | 
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール | 
| 加圧 | NW63以下 ○、NW80以上✖︎ | 
| 非磁性 | ○ | 
| 耐薬品性 | ◎ | 
| クリーンルーム対応 | ○ | 
| 絶縁性 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| 鉛当量(mmPb) | 1.5 | 
|---|---|
| 熱膨張係数(/℃) | 80✕10<sup>-7</sup>(30~380℃) | 
| 軟化点(℃) | 585 | 
| 曲げ強度(MPa) | 25 | 
| ヤング率(GPa) | 63 | 
| ポワソン比 | 0.24 | 
| ヌープ硬度 | 370 | 
| 屈折率(Na-D線) | 1.71 | 
| リンク | FRP | 
|---|---|
| ノブ/ナット | FRP | 
| クランピングスクリュー | ステンレス | 
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa | 
| 対応シール | エラストマーシール専用 | 
| 締付方法 | 手締め | 
| 非磁性 | ○ | 
| 耐薬品性 | △ | 
| 絶縁性 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa | 
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール | 
| 加圧 | ○ | 
| 非磁性 | ○ | 
| 耐薬品性 | ◎ | 
| クリーンルーム対応 | ○ | 
| 絶縁性 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| アウターリング | テフロン® | 
|---|---|
| インナーリング | テフロン® | 
| 非磁性 | ○ | 
| 耐薬品性 | ◎ | 
| クリーンルーム対応 | ○ | 
| 絶縁性 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa | 
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール | 
| 加圧 | ○ | 
| 非磁性 | ○ | 
| 耐薬品性 | ◎ | 
| クリーンルーム対応 | ○ | 
| 絶縁性 | ○ | 
| RoHS2対応 | ○ |