フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 350℃ |
| リークレート | <1.0x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| RoHS2対応 | ○ |