真空配管部品エルボ（CeFiX®規格） | 製品一覧 | 真空配管部品 | 【公式】コスモ・テック

フランジ

サニタリー
- 1S
- 1S - 1.5S
- 1.5S
- 2S
- 2.5S
- 3S
- 3.5S

サニタリー（NW）
- -
- 10
- 15
- 25
- 40
- 50
- 65
- 80

JIS10K

15A

20A

25A

32A

40A

50A

65A

タイプ

BNC

D-Sub

BNC/MHV

BNC/SHV

BNC/SMA

SMA

N

LM

MHV

SHV

SHV-B

熱電対Eタイプ

熱電対E/Jタイプ

熱電対Jタイプ

熱電対 Kタイプ

熱電対 Tタイプ

熱電対Nタイプ

熱電対R/Sタイプ

T熱電対/電流導入端子

K熱電対/電流導入端子

USB2.0 めす

USB3.0 めす

USB3.1めす

K熱電対/高電流

T熱電対/高電流

標準

OMEGAタイプ

OMEGA™熱電対Kタイプ

OMEGA™熱電対Cタイプ

OMEGA™熱電対Eタイプ

OMEGA™熱電対Jタイプ

OMEGA™熱電対Nタイプ

OMEGA™熱電対R/Sタイプ

低電圧・中電流

高電流

高電圧

高電圧・低電流

高電圧・中電流

高電圧・高電流

絶縁フランジ

光ファイバー

水冷端子

Micro D-Sub (MIL-DTL-83513)

同軸/高電圧

7/16

TRIAXIAL

ダブルエンド

MS

マイクロドット

高電圧RF

同軸

バルブ部Viton®付属

LAN

HDMI

バルブ部Viton®なし

パネルマウントあり

パネルマウントなし

高温

超高温

SUS

チューブ/継手サイズ

1/16 inch

1/8 inch

3/16 inch

1/4 inch

5/16 inch

3/8 inch

1/2 inch

5/8 inch

3/4 inch

7/8 inch

1 inch

1-1/8 inch

1-1/4 inch

1-3/8 inch

1-1/2 inch

2 inch

2-1/2 inch

2-3/8 inch

2-4/3 inch

2-4/5 inch

3 inch

4 inch

5 inch

6 inch

6.4 inch

12.7 inch

1/16

1/8

1/4

3/8

1/2

3/4

1/1

1-1/8

2-3/4

2 mm

3 mm

4 mm

5 mm

6 mm

8 mm

10 mm

12 mm

12.7 mm

15 mm

16.4 mm

18 mm

19 mm

19.1 mm

21.7 mm

30 mm

31.75 mm

51 mm

59.5 mm

80 mm

103 mm

138 mm

20A

32A

50A

65A

80A

100A

3/8 inch・1/2 inch

1/4 inch・1/2 inch

1/2 inch・1/4 inch

1/8 inch・1/4 inch

1/4 inch・1/8 inch

継手規格

Swagelok®

チューブエンド

VCR® めす

VCR® おす

VCR® おす・VCR® めす

VCR® めす・VCR® おす

Swagelok®・VCR®めす

Swagelok®・VCR®おす

ICF（タップ）

ICF

NW/KF

VCR®

RH6

RH7.5

RH9

RH12

RH15

RH18

RH25

RH32

RH38

RH50

PVC19

PVC25

PVC38

チューブアダプタ

V®-Lok

UJR®めす

UJR®

UJR®おす

VCO

VCO®めす

VCO®おす

テーパーねじ

テーパーめす

テーパーおす

平行ねじ

平行めす

平行おす

NPTめす

NPTおす

ベースフランジ / ポートフランジ

ICF70 / ICF34

ICF114 / ICF34

ICF152 / ICF34

ICF203 / ICF34

ICF70 / NW16

ICF70 / TA1/4

ICF70 / SW1/4

ICF70 / FVCR1/4

ICF70 / MVCR1/4

寸法タイプ

-

A

B

C

D

E

おす/めす

おす

めす

めす・おす

片側めす・片側おす

A

0.36

0.32

0.5

0.52

0.65

1.5

1.59

2

2.5

2.75

3.18

3.2

3.3

4.2

4.57

4.6

4.8

5

5.1

5.2

5.5

6.1

6.35

6.4

6.7

7

7.5

7.7

8

8.2

8.5

9

9.5

9.52

9.6

9.65

10

10.4

11

12

12.2

12.7

12.8

13.6

13.9

14

14.1

14.7

15

15.4

15.5

15.7

15.8

15.875

15.9

16

17

17.3

18

18.5

18.6

19

19.05

19.3

19.5

19.8

20

20.1

20.2

20.3

20.5

21

21.2

21.3

21.4

22

22.1

22.4

22.5

23

23.2

23.6

24

24.01

24.1

24.7

25

25.2

25.4

25.6

26

26.1

26.2

26.5

27.2

27.5

27.7

27.8

27.82

27.9

28

28.6

28.7

29

29.2

30

30.2

30.36

30.4

31

31.1

31.75

31.8

32

32.1

32.2

32.7

32.8

32.9

33

33.2

34

34.1

34.17

34.2

34.8

35

35.2

35.6

35.8

36

36.7

36.71

37.3

37.5

37.7

37.98

38

38.4

38.5

39

39.2

39.4

40

40.5

40.6

41

41.0

41.2

41.7

41.9

42

42.2

42.3

42.7

43

43.7

44

45

44.5

45.5

45.8

46

46.2

46.3

48

48.1

48.2

48.3

48.4

48.5

50

50.5

50.8

51.6

52

52.2

52.23

52.7

53

53.8

54

54.0

54.6

55

55.2

55.5

56

56.8

57

57.2

57.6

59

60

60.3

60.5

61

61.6

62.5

63

63.8

64

65

67.3

69

69.0

69.3

69.6

69.9

70

72

72.9

74

74.6

75

76.3

77

77.5

77.8

80

81

82

82.3

82.4

82.6

82.8

83

85

85.3

85.7

86

86.4

86.6

87

89.1

90

91

91.4

92

93

94

95

95.2

100

101.6

101.8

101.9

102

104.8

105

106

107

109

110

113.5

114

114.3

115.9

116

117

118

119

120

120.4

120.5

120.6

121

122

123

125.88

127

128

130

133

134

140

141

144.5

145

148

150

152

152.6

152.8

152.9

153

153.1

154

156

158.7

160

161

162

165

165.1

166.5

170

171

171.2

171.3

177.8

178

179

180

180.1

183

185

188

190

202.4

203

205

210

211

212.6

212.8

213

217.3

222

222.1

225

235

237

239

240

242

252

253

255

260.4

261

267.4

272

272.9

273.3

277

285

287

290

292

300

301

305

306

310

313

316.5

320

335

346.4

350

356

361

369

370

377

377.3

379

398

400

425

428.8

450

450.1

510

520

575

625

680

5189

7/8-20UNEF-2A

l-1/8-18UNEF-2A

1-1/4-18UNEF-2A

l-3/8-18UNEF-2A

1-1/2-18UNEF-2A

1-3/4-18UNS-2A

-

37

B

0.4

0.36

0.5

0.52

0.72

0.77

0.9

1

1.0

1.4

1.5

1.6

1.7

1.74

1.8

2

2.2

2.3

2.4

2.62

2.9

3

3.175

3.2

3.4

3.6

4

4.3

4.35

4.5

4.7

4.8

5

5.1

5.3

5.8

6

6.4

6.6

7

7.1

7.4

7.5

7.52

7.6

7.62

8

8.7

8.72

9

9.52~

9.6

9.8

9.83

10

10.2

10.22

10.3

10.7

11

11.1

11.2

11.9

12

12.2

12.5

12.7

12.8

13

13.5

14

14.3

14.7

14.9

15

15.5

15.8

15.88

15.88~

15.9

16

16.3

16.57

17

17.05

17.2

17.3

17.5

17.78

17.8

17.86

18

18.5

19

19.1

19.8

19.9

20

20.2

20.6

21.1

21.4

21.95

22

22.1

22.2

22.23

22.4

22.5

22.92

23

23.5

23.8

23.9

24

24.2

25

25.2

25.4

25.5

25.7

26

26.2

26.3

27

27.6

27.7

28

28.5

29

29.4

29.5

29.7

29.9

30

30.2

31.6

31.8

32

32.1

32.9

33

33.3

33.5

33.8

34

34.8

34.9

34.93

35

35.2

35.3

35.5

36.2

36.5

36.7

37

37.1

37.3

38

38.4

38.5

38.8

38.9

39

39.1

39.5

39.7

40

41

41.1

41.2

41.28

41.3

41.5

42

42.4

42.7

42.8

42.9

43

43.1

44

46

46.2

46.3

46.5

47

47.5

47.6

47.8

48

48.3

48.5

48.6

49

50

50.3

51

52

52.2

52.3

53.57

53.9

54

54.5

54.9

55

56

56.5

57

58.5

59

59.92

60

60.2

60.5

60.7

61

61.5

61.8

61.9

62

62.3

63

63.6

63.8

64

64.5

65

66.27

66.5

66.6

67

67.3

67.6

68

68.3

69

69.44

70

70.2

70.3

72

72.62

72.4

72.9

73

74

74.3

74.6

75

76.5

77

78

78.4

78.97

80

81

82.5

82.3

82.6

83

83.1

83.2

84

85

85.1

86

87

88

89.5

89.7

90

91.6

92

93

94.84

95

95.5

96

97

98.3

99

99.3

100

101

101.8

101.9

102

102.2

103

104.1

104.37

105

106

107

108.3

110

111

112

113

114

115

116

116.3

119

120

120.6

120.7

121

123

125

127

127.2

128.5

130

135

136

136.8

139.5

140

141

146

147

147.5

148

148.5

149.1

149.2

150

151

151.8

152

152.6

152.7

153

153.2

154

155

161

162.2

165

166

167

170

171

171.3

171.5

173

175

177

183

196

197

197.1

198

198.5

200

202

203

203.2

204

207

208.5

209

210

211

212

213

213.2

213.3

215

215.3

216

217

218

218.1

222.3

222.5

223

231

232

235

236

247.7

250.8

251

254

254.2

254.5

255

256

257.5

259

260

261

261.3

263

264.7

266.1

267

268

270

272

273.2

276

285

289

296.8

300

301.8

305

311.1

314

314.5

318

319.6

320

322

323

350.5

351

371

376

392.9

396.8

401.5

425.5

452

475

504

524.5

555

579

3/4

1/2

3/8

1/4

1/8

-

C

0

0.5

0.7

1

1.2

1.58

1.7

2

2.3

2.4

2.5

2.6

2.7

2.8

3

3.1

3.175

3.18

3.2

3.3

3.5

3.8

4

4.2

4.57

4.7

4.76

5

5.1

5.5

5.6

5.8

5.9

6

6.1

6.35

6.4

6.5

6.6

6.7

6.9

7

7.1

7.2

7.5

7.6

7.7

7.94

8

8.1

8.2

8.3

8.5

8.8

8.9

9

9.2

9.5

9.52

9.53

9.6

9.7

10

10.16

10.2

10.5

10.7

10.8

11

11.5

11.8

11.7

12

12.1

12.2

12.4

12.5

12.7

12.8

13

13.3

13.4

13.5

13.8

13.9

14

14.2

14.3

15

15.3

15.4

15.5

15.7

15.8

15.9

16

16.2

16.4

16.5

17

17.1

17.2

17.3

17.4

17.5

17.6

17.8

18

18.2

18.3

18.5

18.8

19

19.05

19.1

19.3

19.4

19.5

19.6

20

20.5

20.8

21

21.4

21.5

21.7

22

22.2

22.5

22.88

23

23.3

23.8

24

24.7

24.8

24.9

25

25.4

25.5

26

26.2

27

27.2

27.5

27.7

27.94

28

28.5

28.6

29

30

30.1

31.5

31.8

31.9

32

32.1

32.3

33

34

34.1

34.3

34.9

35

35.58

35.6

36

37

37.3

37.5

38

38.1

38.5

39

40

40.5

40.6

41

41.2

41.4

41.5

42

42.7

43

43.1

43.2

43.5

43.7

44

44.5

44.8

45

45.2

45.7

47

47.4

47.5

48

48.2

48.26

48.6

48.9

49

49.5

49.8

50

50.2

50.3

50.8

51

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T

-

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D

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4.5

24

34

40

55

57.2

69.9

70

85

88.9

100

120

139.7

150

175

200.5

201

225

248.5

249

275

325

380

430

480

530

585

305

387.2

H

-

17.3

19.8

22.4

10.4

14.2

10.7

14.7

6

7.7

8.4

9

13

17

12.8

16.5

19.2

14

16

15.5

10.5

18.5

8.9

10

12

12.7

15

17.4

17.5

19.9

20

22

22.3

24.6

22.6

25

25.6

29

32

32.2

35

36

37

33

34.2

38

40

41

45.4

44

46

46.9

47

50

50.2

51

60

88

94

95

98

99

100

102

109

110

112

134

139

145

163

164

165

213

246

92

107

130

151

177

185

125

143

18

181

37.2

247

H1

19.9

18.5

10.5

16

17.4

17.5

20

10.4

14

15.7

10

18

8

30

15.5

40

50

55.1

-

55.6

57.6

59.2

65.6

67.6

69.2

70.9

74.7

76

76.3

78

79.5

80

80.9

84.7

85.1

86.3

89.5

91

95

95.1

95.8

97

100

105.8

106

116

12.7

12

22.6

24.6

27.1

33.8

29.3

21.6

H2

38

8

10

12

16

40

43

44

48

48.3

49

49.2

50

50.2

50.6

51

53

53.7

54

55.6

56

-

59

60

61

63

64

66

20.5

19

H3

30

40

50

I

2.5

2.6

19.2

31.2

42

J

-

1.6

2.4

15.8

22.4

31.8

44.5

21

23

30

33

47

48

59

68

77

80

83

92

98

107

114

118

127

139

144

154

162

167

183

227

245

275

294

K

35

49

61.5

80

90

109

134

160

220

268

-

31.3

32.9

3.96~1.57

5.16~2.39

211

25

L（長さ）

2.3

2.5

2.4

3.15

10

12

12.5

13

13.2

15

15.5

16

17

17.8

18

18.2

18.3

18.65

18.8

19

19.05

19.1

19.8

20

20.3

20.5

20.6

21

21.15

21.336

22

23

23.1

23.5

23.836

24.6

24.8

25

25.1

25.4

25.6

25.8

26

26.8

26.9

26.924

27

27.3

27.5

27.6

27.7

28

28.124

28.448

28.5

28.7

29

29.2

29.3

29.4

29.424

30

29.5

30.2

30.8

30.948

31

31.5

31.75

31.8

32

32.7

33

33.3

33.35

33.4

33.5

33.9

34

34.2

34.3

34.8

34.9

35

35.3

35.4

35.5

35.6

35.8

35.9

36

36.1

36.5

36.536

36.6

36.8

37

37.1

37.4

37.5

37.6

37.8

38

38.1

38.2

38.3

38.4

38.5

38.6

38.8

38.9

39

39.1

39.3

39.5

39.6

39.8

39.9

39.036

40

40.1

40.3

40.5

40.6

40.9

41

41.1

41.2

41.28

41.3

41.4

41.6

41.8

41.9

42

42.1

42.2

42.3

42.4

42.5

42.7

42.9

43

43.186

43.2

43.3

43.4

43.5

43.6

43.7

43.8

43.9

44

44.2

44.386

44.5

44.7

45

44.8

45.2

45.3

45.512

45.686

45.7

46

46.2

46.3

46.4

46.7

46.712

46.736

46.8

47

47.2

47.3

47.386

47.5

47.6

47.63

47.7

47.8

48

48.2

48.5

48.7

49

49.2

49.3

49.386

49.5

49.7

49.6

49.8

49.9

50

50.1

50.4

50.6

50.5

50.8

51

51.3

51.5

51.736

51.8

52

52.3

52.5

52.8

53

53.3

54

54.1

54.2

54.3

54.6

54.8

55

55.1

55.2

55.4

55.5

55.8

56

57

58

(58)

58.1

59

60

61

62

62.2

63

64

64.5

64.8

65

65.8

66

67

67.6

68

68.5

69

69.3

69.5

70

70.7

71

72

73.7

74

75

76

78

80

81

82

82.5

84

85

85.3

85.7

86

88

88.9

90

91

91.4

92

92.5

93

94

95

96

96.4

96.5

98

100

101

101.4

102

102.4

103.2

104.7

104

105

106

106.9

107

108

108.4

109.5

110

110.7

111

112

114

115

118.5

120

121

122

124

125

126

127

130

131

132

133.3

135

135.6

137

139.7

140

141

142

144

146

147

148

148.8

149

149.9

150

152

153

156

156.2

156.7

158

160

162

164

165

166

167

168

170

174.6

175

176

178

180

182

190

196

199

199.2

200

202

203

205

206

210

216

220

221

222

225

229

230

236

240

246

250

252

270

276

280

296

300

304

334

356

400

406

416

420

500

508

600

610

750

900

914

990

1000

1500

2000

2500

3000

4000

4500

5000

10000

~30.25

~49.22

103～111

106～109

111～114

120～139

122〜141

128.4~148.2

128〜147

152 m

161～201

167.5~198.5

167〜198

190.5~235.5

190〜235

227～268

706

23.8

24

44.4

101.6

120.6

158.7

82.3

128.5

165.1

177.8

209.8

273.3

104.9

177.7

51.7

62.5

21.5

76.2

-

75.5~82.5

213

177

145

212

11.5

1.85

45.9

123

103

108～111

100~110

97~107

117~134

143~167

132~146

134~148

164~189

209~243

76.5

119

138

186

134

480

97

56.6

350

108.5

211

274.6

356.6

357

275

99

234.2

186.4

186.5

139

164.2

217.2

131.7

192.7

169.4

116.4

169.5

20m

96.2

L1

74

92

72

4

4.5

91.4

96.5

85.3

41

52.5

40

50

15

45

16

10

20

31

49

14

0.85

21.6

84

25

36.8

37.5

48

52

54

55

57.8

58.2

60

62

63

64.1

64.5

65

67.3

70

75

80

82

85

86

90

95

98

100

102

103

104.1

105

109.2

107

110

111

113

115

116

117

120

121.9

122

123

124

125

126

130

131

132

133

135

137

138

140

145

147

150

148

149.4

151

153

154

155

156.7

157

159

159.9

160

162.6

165

167

166

170

172

173.4

179.4

180

190

200

204

206

210

220

348

353

357

363

365

367

370

373

380

381

382

383

387

388

390

397

398

400

401

403

407

417

420

423.4

429.4

430

440

450

454

456

460

470

598

603

607

613

615

617

620

623

630

631

632

633

637

638

640

647

648

650

651

653

657

667

670

673.4

679.4

680

690

700

704

706

710

720

848

853

857

863

865

867

870

873

880

881

882

883

887

888

897

890

898

900

901

903

907

917

920

923.4

929.4

930

940

950

954

956

960

970

1348

1353

1357

1363

1365

1367

1370

1373

1380

1381

1382

1383

1387

1388

1390

1397

1398

1400

1401

1403

1407

1420

1423.4

1429.4

1430

1440

1450

1454

1460

1470

1848

1853

1856

1857

1863

1865

1867

1870

1873

1880

1881

1882

1883

1887

1888

1890

1897

1898

1900

1901

1903

1907

1917

1920

1923.4

1929.4

1930

1940

1950

1954

1960

1970

2348

2353

2357

2363

2365

2367

2370

2373

2380

2381

2382

2383

2387

2388

2390

2397

2398

2400

2401

2403

2407

2417

2420

2423.4

2429.4

2430

2440

2450

2454

2460

2470

2848

2857

2853

2863

2865

2867

2870

2873

2880

2881

2882

2883

2887

2888

2890

2897

2898

2900

2901

2903

2907

2917

2920

2923.4

2929

2929.4

2930

2940

2950

2954

2960

2970

30～70

50～120

40～62

50～130

50～90

50～170

50～350

50～150

50～250

50～450

50～550

185

50～75

50～100

60～360

80～580

80～780

47.7

54.2

1000

L2

73.2

69

94

73

56

81

80.9

72

91

87

55

65

10

20

38

40

48

51.4

52

52.4

54

54.2

56.4

56.8

57

57.3

59

59.4

60

61

61.2

63

64

64.1

66

66.5

67

71.1

71.7

73.5

74

75

76.3

78.3

80

50.8

76.2

79.3

80.2

83.4

82

84

85

85.8

88

88.6

86

90.8

88.9

91.6

92.5

92.6

95

95.4

95.7

97.4

97.5

98.4

101

101.6

102.5

103

103.6

105

108

106

110

127

135

140

147

190

-

96

98.3

103.1

103.9

109

114

117.3

193

195

264

50

70

79

89

90

93

100

104

168

198

261

268

284

287

291

160

170

180

200

54.5

77

78

112

102

121

196

202

266

274

210

270

92

186

194

175

253

190.5

447.2

333

625

654

120

115

126

156

206

136

182

138

150

125

184

152

107.5

150.5

300

500

700

861

51

197

53.1

53.5

75.1

113.7

L3

-

100.5 ～ 108.5

105.5 ～ 113.5

108.5 ～ 116.5

117 ～ 125

118 ～ 126

120.5 ～ 128.5

125.5 ～ 133.5

137 ～ 145

138 ～ 147

63 ～ 71

71 ～ 79

88.5 ～ 96.5

M

38

44

-

45

50

64

68

24.2

26.6

29

31.3

33.7

36.9

43.3

14.27

19.05

20.62

M4

M6

M8

M(深さ)

6-M4(7.5)

6-M6(12.7)

8-M8(17.5)

16-M8(9)

6-M4(10)

6-M4(6)

6-M4(8)

6-M4(9)

6-M6(10)

6-M6(8)

8-M8(10)

16-M8(10)

16-M8(20)

20-M8(10)

20-M8(22)

6-M5(8)

4-M5(8)

8-M8(11)

16-M8(12)

8-M8(12)

20-M8(12)

24-M8

24-M8(15)

N

23.01

29.36

32.56

35.71

38.91

45.26

55

58

60

66

70

81

85

99

105

111

112

120

128

155

160

165

180

185

192

196

205

210

235

250

256

300

310

350

355

360

-

P

3.1

3.7

R

23.01

26.97

29.36

31.75

34.92

39.67

95.3

114.3

152.4

48

56

72.4

73

R min.

-

98

S

30.18

34.92

38.1

41.28

44.45

50.8

3.5

5

T

15.5

17

3.05

3.73

0.5

0.8

9.2

9.9

9.3

10.3

3.5

3.53

3.9

3.2

5.1

5.3

17.3

11.9

5

9

7

2

3

4

6

7.5

8

10

12

12.7

13

15

16

17.4

17.5

18.5

18

19.1

20

21

22

23.9

24

25

25.9

28

28.5

36

3.6

7.6

22.7

29.5

32

14

-

20.6

19.8

3.1

20.1

2.85

24.7

7.2

2.5

T(ガラス厚)

2.2

3.5

1

1.5

1.6

1.7

2

2.5

2.8

3

3.3

4

4.5

5

5.5

6

6.4

6.5

7

8

9.4

11

12

13

15

16

22

25

30

40

45

50

3.2

2.4

3.8

1+7

2.5+7

3+7

4+7

6+7

6.5+7

9.5

8+7

T1

2.5

22

3

7

8.5

4

5

5.3

5.6

6

7.5

8

8.4

9.5

10

11

11.5

12

12.5

12.7

13.5

19

21

24

25

4.45

17.5

20

9

2.2

2.3

6.5

0

10.7

7.6

9.4

12.4

T2

-

8

10

12

21

1.5

2

2.5

3

5.7

6

6.6

7

7.5

7.9

8.7

11

12.7

17.5

20

22

25

3.1

5

12.4

4.8

0

V(有効径)

31

62.8

35.6

15.2

22.9

47.8

24.1

10.9

36

15

49

6

6.5

7

9.5

10

12

15.7

16

17

20

24

30

32

33

35

37

38

40

45

50.3

55

60

63

64

65

68

68.3

70

78

83

89

90

91

93

98

98.6

99

100

102

127

130

136

136.7

47.5

137

144.5

145

148

150

152

153

197

197.6

198

152.4

112

34.8

60.2

X

-

20

25

30

38

40

45

50

52

60

63

65

70

80

82

86

88

90

98

105

108

110

118

135

138

167

178

208

210

254

P.C.D

8

10

14

15

16

18

20

21

22

23

24

25

26

27

29

31

35

37

43

36

33.4

19

30

26.1

29.1

33.1

35.8

39.4

38.1

22.4

19.1

28

32

13

42.3

43.7

48

48.9

50

58.7

50.3

60

70

62

72.4

82.55

85

92.1

92.2

100

102.4

110

120

125

130.2

130.3

135

145

160

181

185

200

210

231.8

260

270

310

284

320

325.4

370

420

480

535

585

640

VF:85＿ICF:58.7

VF:100＿ICF:58.7

VG:85＿ICF:58.7

VG:100＿ICF:58.7

大口径:70＿小口径:60

大口径:85＿小口径:60

大口径:85＿小口径:70

大口径:100＿小口径:60

大口径:100＿小口径:70

大口径:100＿小口径:85

-

90

96

75

105

41.3

大口径:120＿小口径:60

大口径:120＿小口径:70

大口径:120＿小口径:85

大口径:120＿小口径:100

大口径:135＿小口径:60

大口径:135＿小口径:70

大口径:135＿小口径:85

大口径:135＿小口径:100

大口径:135＿小口径:120

大口径:160＿小口径:70

大口径:160＿小口径:85

大口径:160＿小口径:100

大口径:160＿小口径:120

大口径:160＿小口径:135

大口径:185＿小口径:70

大口径:185＿小口径:85

大口径:185＿小口径:100

大口径:185＿小口径:120

大口径:185＿小口径:135

大口径:185＿小口径:160

大口径:210＿小口径:70

大口径:210＿小口径:85

大口径:210＿小口径:100

大口径:210＿小口径:120

大口径:210＿小口径:135

大口径:210＿小口径:160

大口径:210＿小口径:185

14.2

395

480.1

53

40

45

57

63

58

39

55

73

33

44

空気穴

空気穴なし

側面溝あり

中心穴あり

あり（ワッシャー）

なし（ワッシャー）

ボルト穴径（深さ）

φ8

φ8.4

φ4.4

VFボルト:Φ10＿ICFボルト:M6(深さ10)

VGボルト:Φ10＿ICFボルト:M6(深さ10)

φ5.5

φ2.2

VFボルト:M8＿ICFボルト:M6(深さ8)

VGボルト:M8＿ICFボルト:M6(深さ8)

φ4.3

φ5.3

φ10.5

φ6.73

φ4.5

φ6

φ6.8

φ7

φ8.5

φ9

φ10

φ11

φ12

φ15

φ19

M4

M6

M8

大口径ボルト:M8(10)＿小口径ボルト:M8(10)

大口径ボルト:Φ10キリ(貫通小口径ボルト:M8(10))

M5

M10

大口径ボルト:M10(12)＿小口径ボルト:M10(12)

大口径ボルト:M12(12)＿小口径ボルト:M12(12)

大口径ボルト:M10(12)＿小口径ボルト:M8(10)

φ8.43

-

φ14

８

ボルト穴数

-

32

VFボルト:4＿ICFボルト:6

VGボルト:4＿ICFボルト:6

10

30

4

6

8

12

16

20

24

大口径ボルト:4＿小口径ボルト:4

大口径ボルト:8＿小口径ボルト:8

大口径ボルト:8＿小口径ボルト:4

2

接続タイプ

SHVコネクタ

BNCコネクタ

MHVコネクタ

BNCコネクタ/プラグ

SHVコネクタ/プラグ

SMAプラグ

大気側プラグ嵌合

大気側プラグ嵌合用

真空側プラグ勘合用

真空側・大気側プラグ嵌合

MHVコネクタ/プラグ

SHVプラグ

Nプラグ

MHVプラグ

BNCプラグ

LMプラグ

BNC/SHVプラグ

BNC/MHVプラグ

BNC/SMAプラグ

LAN

HDMI

USB

マイクロドットプラグ

RH18/PVC19

BURNDY

QD1KJBA

MS

OMEGA™

MS（MIL-C5015）

MS (Mil-C-26482)

Micro D-Sub (MIL-DTL-83513)

D-Sub(MIL-C-24308)

5 kV - 3 A5 kV - 22 A

3 kV - 35 Aシリコンプラグ接続タイプ

5 kV - 110 A無酸素銅（+ Niめっき）

5 kV - 110 Aシリコンプラグ接続タイプ

3 kV - 35 A無酸素銅（+ Niめっき）

RH25/PVC25

RH38/PVC38

SMA905

FC/PC

USB2.0

USB3.0

USB3.1

金属-金属

ガラス-ガラス

BNCプラグ/SHVコネクタ

BNCコネクタ/SHVプラグ

BNCコネクタ/SHVコネクタ

BNCプラグ/SMAプラグ

BNCコネクタ/SMAコネクタ

BNCコネクタ/SMAプラグ

BNCプラグ/SMAコネクタ

コンセント

種類

BNCケーブル

MHVケーブル

Nケーブル

SHVケーブル

SMAケーブル

グランドシールド

スプリングワッシャー

ﾌﾗﾝｼﾞ12ﾎﾟｲﾝﾄ頭ﾎﾞﾙﾄ

フローティングシールド

溝付き低頭ボルト

溝付き鍋頭ボルト

溝付チーズ頭ボルト

溝付フィルスター頭ボルト

止めねじ

十字穴付き低頭ボルト

十字穴付き鍋頭ボルト

平ワッシャー

六角ナット

六角穴付きショルダボルト

六角穴付き低頭ボルト

六角穴付ボタンボルト

六角穴付ボルト

六角頭ボルト

LMケーブル

圧着

プッシュオン

バレル

分類

100個

Oリング

周辺部品

ナット

フランジ付き端子

ボルト

ワッシャー

ガラス-ガラス接続

ガラス-金属接続

金属-金属接続

ガラス金属兼用

ピン

ソケット

手動

圧空（単作動）

圧空（複作動）

通常

ワンタッチ

トグル

モーター

両端VF

両端VG

片側VF/VG

プラグ

キャップ

商品内容

セット品

フランジ付き端子のみ

プラグ、ソケットコンタクト込み

Oリングのみ

センターリング付き

色：白

色：白、黒、グレー、緑、茶、青

温調器

耐熱粘着テープ

ガラスマット

ICF70x4,縦300mm横300mm高さ500mm

端子数

14

15

-

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

電極数

1

1(同軸)+4

2

3

4

5

6

7

8

8(4+4)

9

10

11

12

12(8+4)

13

14

15

16(8+8)

16

17

18

18(9+9)

19

20

21

22

24

24(9+15)

25

30

30(15+15)

31

32

37

40

40(15+25)

41

48

50

50(25+25)

51

72(9x8)

74

74(37+37)

100

100(50+50)

総電極数

18

24

30

40

27

16

8

12

50

72

74

100

対数（熱電対）

1

2

3

4

5

6

7

10

11

15

24

12

フィードスルー

3 kV / 35 A

5 kV / 110 A

5 kV / 124 A

5 kV / 145 A

5 kV / 22 A

5 kV / 3 A

5 kV / 476 A

5 kV / 73 A

5 kV / 808 A

6 kV / 145 A

8 kV

10 kV

10 kV / 22 A

10 kV / 73 A

10 kV / 124 A

10 kV / 145 A

10 kV / 476 A

10 kV / 808 A

25 kV / 3 A

25 kV / 50 A

30kV / 3A

30 kV / 50 A

グレーデッドインデックス

ステップインデックス

Step-Index,MultimodeFiber Opti

電流/1本

2 A

Milli

4.8 A

6.5 A

3.6 A

1 A

3 A

6.7 A

5 A

7 A

7.5 A

8 A

9 A

10 A

11 A

12A

13 A

14.2 A

15 A

14.7 A

16.5 A

20 A

22 A

23 A

25 A

26 A

28 A

30 A

33 A

35 A

40 A

50 A

55 A

56 A

60 A

70 A

73 A

75 A

92 A

100 A

110 A

124 A

145 A

150 A

476 A

600 A

800 A

808 A

1000 A

N/A

総電流/1端子

14.6

9A

15A

30A

9.9 A

10.7 A

11.4 A

12.8 A

13.2 A

13.3 A

14.4 A

14.5 A

18 A

22.2 A

28.8 A

33.1 A

38 A

44 A

44.5 A

48 A

60 A

96 A

Milli

耐電圧: DC

13 V

Milli

25 V

20 V

15 V

30 V

150 V

300 V

500 V

600 V

700 V

1 kV

750 V

1.5 kV

1.8 kV

2 kV

2.3 kV

3 kV

2.5 kV

5 kV

2.7 kV

2.8 kV

2.8 kV(参考）

6 kV

7.5 kV

8 kV

10 kV

12 kV

13 kV

14 kV

20 kV

24 kV

25 kV

30 kV

35 kV

40 kV

60 kV

65 kV

100 kV

絶縁抵抗値

-

10⁹ ohm

周波数

10 MHz

100 MHz

200 MHz

1300 MHz

4000 MHz

6500 MHz

-

15 GHz（参考値）

7.5 GHz

周波数:GHz

15

インピーダンス

非接触式

50 Ω

コア径(μm)

62.5

65

100

200

400

600

1000

-

125/9

125/50

125

ファイバー

石英

ファイバータイプ

UV/VIS

VIS/NIR

波長:nm

200 ～ 800

400 ～ 2200

850 & 1300

1300

伝送ロス:dB

<-1dB以下

-0.8 ～ -2.0

≦3.0 dB(850場合)、≧0.8 dB(1300場合）

適用電線サイズ

2.2 MAX

1.7 MAX.

3.5 MAX.

0.8 MAX.

0.8 MAX.(#20)

0.9 MAX.

1.0 MAX.

1.1 MAX.

1.3 MAX.

1.4 MAX.

1.5 MAX.

1.6 MAX.

1.8 MAX.

2.4 MAX.

3 MAX.

3.4 MAX.

6.6 MAX.

AWG #

14

20

22

21

22 / 24の2種類

24

26

28

32

素線/ケーブル径

（Kタイプ）0.5sq（電流導入）AWG#20

（Kタイプ）φ0.32（電流導入）AWG#20

0.5sq

（Kタイプ）φ0.32（電流導入）AWG#22

φ 0.32

φ 0.36

φ 0.65

NA(Numerical Aperture)

0.22±0.02 or 24.8°

0.27±0.02

0.22 ± 0.02

接続径(φ)

1/4 inch

3/8 inch

1/2 inch

1/8 inch

3/4 inch

1/1 inch

1-1/4inch

1-1/2inch

2inch

2 mm

3 mm

4 mm

5 mm

6 mm

8 mm

10 mm

12 mm

15 mm

18 mm

14～27

11～23

17～32

19～38

21～38

21～45

27～51

33～57

40～64

50～66

68～86

87～113

固定曲げ半径(R)

10

15

25

30

35

60

90

50

70

80

40

100

120

170

220

240

300

350

適用パイプ外径

6.35

9.5

12.7

17.3

19.1

27.2

34

38

41

42.7

48.6

60.5

63.5

76.3

89.1

101.6

114.3

139.8

153

165.2

203

216.3

267.4

318.5

355.6

406.4

457.2

508

558.8

15.8

254

69.9

305

適用ボルト

M8X25L

M4X12L

M4X15L

M6X22L

M8X30L

M8X35L

M5X18L

ポート数

1

2

3

4

5

6

7

8

入数

4

1

2

5

10

100

100g (約1100個)

100g (約140個)

100g (約2550個)

100g (約280個)

100g (約500個)

25

20

300個（50x6種）

450g

ねじ呼び

M10

M4

M5

M6

M8

M12

M16

Oリング規格

V100

V120

V150

V175

V225

V24

V275

V325

V34

V380

V40

V430

V480

V530

V55

V585

V70

V85

-

ベローズ板厚

0.1

0.15

作動範囲

56-64

59-70

-

51.7～54.3

52.4～55.6

52.2～57.8

53.4～56.6

53.7～56.3

54.4～57.6

53.3～58.7

54.2～59.8

55.2～60.8

55.3～60.7

55.4～58.6

56.2～61.8

58.2～63.8

58.3～63.7

58.4～61.6

59.2～64.8

59.3～64.7

53.2～58.8

59.4～62.6

60.2～65.8

61.7～64.3

63.3～68.7

62.3～67.7

63.7～66.3

67-73

62.2～67.8

66.3～71.7

74-90

78-100

85-100

85-109

88-112

89-111

90-120

91-118

92-128

95-124

95-125

96-111

96-124

100-130

110-150

110-140

101-129

119.5～126.5

バネ定数(N/mm)

-

2.4

2.6

3.5

3.6

3.8

3.9

4

4.7

4.8

5.2

5.3

6

6.2

6.9

9.2

9.8

11.9

26.2

31.8

41.1

47.8

60.5

チューブ数

1

2

4

ブランク・穴あき

ブランク

ブランクタップ

穴あき

穴あきタップ

固定・回転

回転

固定

両側固定

片側回転

主要材質

SUS 304L

ナイロン

ステンレス鋼

ガラスセラミック

MoS2+鉱油

PTFE

SUS 304

SUS 316L

アルミ

アルミナセラミック

ゴム

ステアタイトセラミック

ニトリル

ポリウレタン

軟質塩化ビニール

スチレン系サーモプラスチックエラストマー（TPE）

アルミ/ポリカーボネート

SUS 316(複作動）、SUS316L（その他）

SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型)

NW:SUS304, JIS10K:SUS304F

ポリエチレン

BeCu

PEEK

Oリング

バイトン®

FPM

ネジ

SUS

電極

SUS 304

アルメル®

クロメル® / アルメル®

クロメル® / アルメル®/無酸素銅

コバール®

銅 / コンスタンタン®

ベリリウム銅合金

無酸素銅

無酸素銅+ Niめっき

SUS 316L

ベリリウム銅

モリブデン

ステンレス（金メッキ）

タングステン・レニウム合金

クロメル® / コンスタンタン®

鉄 / コンスタンタン®

白金ロジウム合金

白金ロジウム合金/白金

ナイクロシル / ナイシル

ステンレス

コンタクト

銅合金 + 銀めっき

ベリリウム銅

（Kタイプ）クロメル®, アルメル®（電流導入）銅合金＋金め

アルメル®

クロメル®

クロメル® , アルメル®

コンスタンタン®

銅

ベリリウム銅 + 金めっき

りん青銅 + ニッケルめっき

銅 , コンスタンタン®

銅合金 + 金めっき

真鍮

鉄

ベリリウム銅 + ロジウムめっき

ケーブル被覆

なし

（Kタイプ）ガラス（電流導入）ポリエチレン

PEEK®

カプトン®

ガラス

ステアタイトセラミック

テフロン®

ビニール

ポリエチレン

ポリイミド

FEP

ETFE

PTFE

FTPE

導体

-

Ag

銀めっき軟銅線

ステンレス線

銀線

（Kタイプ）クロメル®, アルメル®（電流導入）軟銅線

（Kタイプ）クロメル®, アルメル®Agめっき銅線

銀めっき銅線

ニッケルめっき軟銅線

クロメル® , アルメル®

すずめっき軟銅線

銅 , コンスタンタン®

銅線

銅被鋼線

軟銅線

銅ヨリ線

アルメル

アウターリング

SUS 304

SUS 316L

アルミ

テフロン®

インナーリング

SUS 304

SUS 316L

アルミ

テフロン®

シール/ガスケット材質

アルミ

無酸素銅

無酸素銅+金めっき

無酸素銅＋銀めっき

無酸素銅+アニール

ニッケル

カルレッツ®1050

アルミ A1050

バイトン®

カルレッツ®4079

アルミ A5052

SUS

SUS + バイトン®

SUS + ニトリル

FEP

ニトリル

SUS + カルレッツ®4079

PTFE

WC系超硬合金/Cu合金

FKM

メッシュサイズ

#70(線径:0.14、目開き:0.22)

#8(線径:0.57、目開き:2.61)

#8(線径:0.6、目開き:2.58)

#10(線径:0.5、目開き:2.04)

#50(線径:0.18、目開き:0.33)

#20(線径:0.2、目開き:1.07)

#100(線径:0.1、目開き:0.15)

#150(線径:0.06、目開き:0.11)

継手

SUS 304

SUS 316

SUS 316L

フランジ材質

Duran®ホウケイ酸ガラス

SUS 304

SUS 304L

SUS 316

SUS 316L

SUS 329

SUS（1.4462）

SUS（329J3L）

SUS316L/SUS304(CeFlX®/ICF)

アクリル

アルミ（A5052)

SUS316LN

アルミ

Duran®（ホウケイ酸ガラス）

テフロン®（GRP）

チタン

石英

ハステロイC22相当

SUS304（NWのみSUS316)

SUS304(L型)、SUS314L(その他)

BeCu

シェル

ABS樹脂 + ニッケルめっき / 鋼 + ニッケルめっき

ABS樹脂 +ニッケル下地クロムめっき

SUS 303

SUS 304

SUS 304+金めっき

アルミ合金

グラスファイバー入りナイロン

黄銅 + クロムめっき

黄銅 + ニッケルめっき

アルミ合金+亜鉛メッキ

真鍮 + 銀めっき

SUS 304+金めっき/SUS 304

A5052 + Niメッキ

黄銅

ブッシュ

合成ゴム

ボディ

SUS 304

SUS 304L

SUS 316

アルミ

フレキ/ベローズ

SUS

AM-350

SUS 316L

SUS 321

テフロン®

ﾊｽﾃﾛｲC22相当

あり

なし

ブレード

-

PEEK®

SUS 304

ポリ塩化ビニル

ﾊｽﾃﾛｲC22相当

窓

サファイア

石英

鉛ガラス単体

ホウケイ酸ガラス

ホウケイ酸ガラス+鉛ガラス(7t)

強化ガラス

合成石英

弗化カルシウム

弗化マグネシウム

溶融石英

ゲルマニウム

ジンクセレン

SUS（ブランク）

フッ化バリウム

仕上げ

片面鏡面

光学用

標準

両面鏡面

BA管

EP管

ボンネットシール

バイトン®

FKM(Viton®)

FKM

無酸素銅

ハンドル

アルミ 2024-T4

フェノール樹脂

チューブ/パイプ

SUS

SUS 304

SUS 316

SUS 316L

無酸素銅

ﾊｽﾃﾛｲC22相当

リンク

FEP

FRP

アルミ

鍛造アルミ＋テフロン®コーティング

ステンレス

鍛造アルミ

ストラップ

SUS 316L

ステンレス

スチール

ノブ／ナット

FRP

FRP（ノブ）

NW80～125FRP（ノブ）NW160～250ステンレス（

SUS

SUS（ナット）

SUS（ボルト）

クランピングスクリュー

NW80～125ステンレスNW160～250ステンレス

SUS 316L

ステンレス

ステンレス/M5

ステンレス/M6

クランピングボルト

FRP

アルミ

ステンレス

リンク色

黒色

茶色

白色

ノブ色

黒色

茶色

白色

キャップ

コバール®

スリーブ

SUS 304

SUS 430

アルミ

コバール®

ポリイミド

SUS304L

SUS 329

70-30 CuNi

SUS04

絶縁体

エポキシ

FEP

PBT樹脂UL(94V－0)

PE（ポリエチレン）

PEEK®

PTFE

TFE

XLPE

アルミナセラミック

ガラス

ガラス繊維入りフェノール樹脂(UL94V－1/黒)

ガラス繊維入りフェノール樹脂(UL94V－2/黒)

ガラス繊維入りフェノール樹脂(UL94V－3/黒)

ガラス繊維入りフェノール樹脂(UL94V－4/黒)

ガラス繊維入りフェノール樹脂(UL94V－5/黒)

ガラス繊維入りフェノール樹脂(UL94V－6/黒)

セラミック

ホウケイ酸ガラス

合成樹脂

成形シリコン

プラグ:PTFE, ケーブル:XPE

内面処理

電解研磨

バフ400（Ra1.0）相当

切削品（Ra3.2相当）

GBB処理

Ra ≤ 0.8μm

Ra0.3~0.4μm

なし

Ra3.0-1.6μm(複作動)、Ra≤0.8μm(その他）

ファイバー

石英

マグネット

サマリウムコバルト

質量

78

120

159

170

175

220

330

430

590

850

1000

-

3.0 Kg

最低温度

-269℃

-196℃

-180℃

-271℃

-270℃

-100℃

-250℃

-200℃

-195℃

-75℃

-65℃

-55℃

-50℃

-45℃

-40℃

-30℃

-20℃

-10℃

10℃

-5℃

5℃

60℃

65℃

100℃

105℃

125℃

150℃

200℃

250℃

260℃

280℃

300℃

315℃

350℃

450℃

1000℃

-

-15℃

最高温度

-271℃

-55℃

-50℃

-45℃

-40℃

-30℃

-20℃

-10℃

0℃

60℃

65℃

80℃

85℃

100℃

-65℃

-75℃

-196℃

-200℃

-270℃

105℃

125℃

130℃

140℃

150℃

150℃(ボディ)、80℃(全体)

165℃

200℃

80℃(複作動)、200℃(その他)

250℃

300℃

260℃

280℃

315℃

350℃

400℃

450℃

1000℃

70℃

120℃

40℃

使用温度（補足）

80

(保証値)150℃ (設計値)400℃

12時間以内は150℃まで可

5時間以内までは80℃まで可

参考耐圧値(MPa)

1.5

2.3

2.7

3.4

5.3

6.1

8.2

1

0.4

-0.1～0.4

-0.1～0.3

-0.1～0.2

使用可能圧力

10^-2 Pa～10^-6 Pa

10-9 Pa

大気圧～10-2 Pa

大気圧～10-4 Pa

大気圧～10-5 Pa

大気圧～10-6 Pa

大気圧～10-7 Pa

大気圧～10-8 Pa

大気圧～10-9 Pa

600 kpa~ 1.33x10-5 kpa

0.12MPa ～10-6 Pa

10-6 Pa ～0.5Mpa

13.3 Pa

真空～0.9MPa(G)

リークレート

<1.3x10-10Pa･㎥/sec

<1.3x10-4Pa･㎥/sec

<1.3x10-7Pa･ℓ/sec

<1.3x10-7Pa･㎥/sec

<1.3x10-9Pa･㎥/sec

<5.5x10-9Pa･㎥/sec

<1.0x10-8Pa･㎥/sec

<2x10-9Pa･㎥/sec

<1x10-8Pa･㎥/sec

<5x10-7Pa･㎥/sec

<5x10-9Pa･㎥/sec

<1x10-7Pa･ℓ/sec

<1x10-8Pa･㎥/sec

<1.3x10-8mbar･l/sec

<1.3x10-11Pa･㎥/sec

<1.0x10-9Pa･㎥/sec

推奨板厚

-

6~22

推奨穴径

25±0.2

-

対応シール

アルミ/無酸素銅/ニッケル

エラストマーシール

エラストマーシール/メタルシール

エラストマーシール専用

専用エラストマーシール

リンク数

3

4

5

6

7

10

-

軸方向の伸縮[±mm]

-

6

7

10

17

18

20

締付トルク

1 Nm±20%

1.5 Nm±20%

2 Nm±20%

2.5 Nm±20%

3.5 Nm±20%

4 Nm±20%

5 Nm±20%

7 Nm±20%

9.5 Nm±20%

12 Nm±20%

締付トルク-エラストマー

1 Nm±20%

1.5 Nm±20%

2 Nm±20%

2.5 Nm±20%

3.5 Nm±20%

4 Nm±20%

5 Nm±20%

7 Nm±20%

9.5 Nm±20%

12 Nm±20%

-

締付トルク-アルミ

-

6 Nm±20%

2 Nm±20%

2.5 Nm±20%

3 Nm±20%

4.5 Nm±20%

9 Nm±20%

18 Nm±20%

27 Nm±20%

36 Nm±20%

締付トルク-メタル

2.5 Nm±20%

3 Nm±20%

4.5 Nm±20%

5 Nm±20%

8.5 Nm±20%

10 Nm±20%

12.5 Nm±20%

18 Nm±20%

24 Nm±20%

30 Nm±20%

-

締付トルク-無酸素銅

-

10 Nm±20%

3.5 Nm±20%

5 Nm±20%

6 Nm±20%

8.5 Nm±20%

18 Nm±20%

36 Nm±20%

54 Nm±20%

72 Nm±20%

84 Nm±20%

締付トルク-ニッケル

6 Nm±20%

8 Nm±20%

10 Nm±20%

14 Nm±20%

30 Nm±20%

60 Nm±20%

90 Nm±20%

120 Nm±20%

140 Nm±20%

-

18 Nm±20%

ボルトサイズ

M6

#8-32(ICF34タップ穴)

M10

M14

M8

側面方向の伸縮[±mm]

5

6

8

-

曲げ角度[±°]

-

20

25

30

締付方法

NW80～125手締めNW160～250トルクレンチ

トルクレンチ

トルクレンチ（呼び14スパナ用）

手締め

手締め/トルクレンチ（呼び14スパナ用）

加圧

△

○

NW63以下 ○、NW80以上✖︎

-

非磁性

○

耐放射線性

○

耐薬品性

△

○

◎

NW80～125△/NW160～250○

クリーンルーム対応

△

○

◎

NW80～125○/NW160～250△

絶縁性

○

分類（イオンポンプ）

ACアダプタ

イオンポンプ

セット

モバイルバッテリー

ワンタッチケーブル

電源/表示器

-

排気速度(L/sec)

0.5(窒素)

1(窒素)

2(窒素)

3(窒素)

4(窒素)

5(窒素)

0.5

1

2

3

4

5

6(窒素)

長寿命カソード

あり

なし

イオンポンプ本体

12E5LTR

4E3L

4E3LT

9E4L

B-0861T

B-0862M

B-0862T

C-1625M

C-1765M

-

電源/表示器

-

C-1766D

C-1766Q

D-0585

HVPS-625N

R-1800

ACアダプタ

C-0887

C-0888

-

ベーキング可能温度(電源は取り外した状態) マグネットあり

100 ℃

ベーキング可能温度(電源は取り外した状態) マグネットなし

350 ℃

入力電力電圧

-

100/240 V AC

12±0.1％ V DC

14～20 V DC

24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max.

入力電力電流

-

250～700 mA

45～200 mA

450 mA

500 mA

入力電力周波数

50/60 Hz

-

入力電力電力

-

0.6～2.5 W

3～8.5 W

80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く

バッテリーバックアップ用入力電力電圧

-

12±5% V DC

バッテリーバックアップ用入力電力電流

-

30～150 mA

バッテリーバックアップ用入力電力電力

-

0.25～2 W

出力電力電圧

+3500±20%

12 V DC

15 V DC

-

出力電力電圧(ショート回路)

-

0～5 及び 8 V DC

出力1:0～5,出力2:0～10 V DC

出力電力電流

1000 mA

800 mA

-

出力電力電流(ショート回路)

-

1 mA

5 mA

出力電力電力

0.6 W max.

1.1 W max.

-

環境使用温度範囲

-

0～60 ℃

環境湿度範囲(不凝縮性)

0～80 ％

-

アナログ出力信号推奨入力インピーダンス

-

>1 MΩ

>100 KΩ

起動可能圧力

1.3x10-2

-

最小発注数

30個

25個

37個

40個

50個

60個

70個

80個

90個

100個

110個

120個

130個

140個

150個

180個

200個

280個

360個

420個

処理方法

ニッケルコート

クロム酸銀コート

なし

精密洗浄済み

タングステンコート

ニッケルコート

ベーキング済み

金コート

銀コート

電解研磨

二硫化モリブデンコート

インチ/ミリ

インチ

ミリ

-

サイズ

1/2-13

1/4-20

1/4-28

3/8-16

3/8-24

1/2

1/4

3/8

5/16

#10

#10-24

#10-32

#2

#2-56

#4

#4-40

#5

#5-40

#6

#6-32

#8

#8-32

5/16-18

5/16-24

M10

M12

M16

M2

M2.5

M3

M4

M5

M6

M8

-

材質

SUS 304

フッ素ゴム、アクリル、他

無酸素銅

ナイロン

SUS 18-8

SUS 18-8 RAW

SUS 303

SUS 316

SUS A2

SUS A2 RAW

SUS A4

SUS A4 RAW

カプトン（シリコン系粘着剤）

内径(mm)

0.7366

1.0668

1.2446

1.4224

1.778

2.0574

2.1

2.2

2.2606

2.3876

2.5654

2.6

2.7

2.8448

2.8956

2.921

3.0734

3.1

3.2

3.2512

3.6322

3.683

3.7592

4.1

4.2926

4.3

4.3434

4.4196

4.445

4.4704

4.953

5.1

5.1308

5.2324

5.2832

5.3

5.9436

6.0198

6.0706

6.1

6.4

6.477

6.6802

7.5184

7.5946

7.6454

8.1

8.3312

8.4

8.4

8.5

9.1186

9.1948

9.2456

9.906

9.9822

10.2

10.4648

10.5

10.6934

10.7696

10.8204

12.065

12.2

12.2936

12.3698

12.4206

13.0

13.081

13.2842

13.6398

13.8684

13.9446

13.9954

15.24

15.4686

15.5448

15.8

15.5956

16.8148

17.0434

17.1196

17.1704

18.415

18.6436

18.7198

18.7706

19.9898

20.2184

20.2946

20.3454

21.59

21.8186

21.8948

21.9456

23.1648

23.3934

23.4696

23.5204

24.765

24.9936

25.0698

25.1206

26.3398

26.5684

26.6446

26.6954

27.94

28.1686

28.2448

28.2956

29.5148

29.7434

29.8196

29.8704

31.115

31.3436

31.4198

31.4706

32.6898

32.9184

32.9946

33.0454

34.29

34.5186

34.5948

34.6456

36.0934

36.1696

37.465

37.6936

37.7698

37.8206

39.3446

40.64

40.8686

40.9448

40.9956

42.5196

43.815

44.0436

44.1198

44.1706

45.6946

46.99

47.2186

47.2948

47.3456

48.895

50.165

50.3936

50.4698

50.5206

52.07

53.34

53.5686

53.6448

53.6956

55.245

56.515

56.7436

56.8198

56.8706

58.42

59.69

59.9186

59.9948

60.0456

61.595

62.865

63.0936

63.1698

63.2206

64.77

66.04

66.2686

66.3448

66.3956

67.945

69.215

69.4436

69.5198

69.5706

71.12

72.39

72.6186

72.6948

72.7456

75.565

75.7936

75.8698

75.9206

78.74

78.9686

81.915

82.1436

82.2198

82.2706

85.09

85.3186

88.265

88.4936

88.5698

88.6206

91.44

91.6686

94.615

94.8436

94.9198

94.9706

97.79

98.0186

100.965

101.1936

101.2698

101.3206

104.14

104.3686

107.315

107.5436

107.6198

107.6706

110.49

110.7186

113.665

113.8936

113.9698

114.0206

116.84

117.0686

120.015

120.2436

120.3198

120.3706

123.19

123.4186

126.365

126.5936

126.6698

126.7206

129.54

129.7686

132.715

132.9436

133.0198

133.0706

135.89

136.1186

139.065

139.2936

139.3698

142.24

142.4686

145.415

145.6436

145.7198

148.59

148.8186

151.765

151.9936

152.0698

158.115

158.3436

158.4198

164.465

164.6936

164.7698

170.815

171.0436

171.1198

177.165

177.3936

177.4698

183.515

183.7436

183.8198

189.865

190.0936

190.1698

196.215

196.4436

196.5198

202.565

202.7936

202.8698

208.915

209.1436

209.2198

215.265

215.4936

215.5698

221.615

221.8436

221.9198

227.965

228.1936

228.2698

234.315

234.5436

234.6198

240.665

240.8936

240.9698

247.015

247.2436

247.3198

253.365

253.5936

266.065

266.2936

278.765

278.9936

291.465

291.6936

304.165

304.3936

316.865

329.565

329.7936

342.265

354.965

355.1936

367.665

380.365

380.5936

393.065

405.257

417.957

430.657

443.357

456.057

468.757

481.457

494.157

506.857

532.257

557.657

582.676

608.076

633.476

658.876

-

34.8

22.1

47.5

15

23

36

50

外径(mm)

2.3876

3.5814

3.7846

4.3688

4.4

4.7752

5.0

5.1

5.1562

5.3086

5.5626

6.0

6.0452

6.2

6.35

6.7818

7.0

7.1374

7.4422

7.6

7.7216

7.9502

8.4836

8.7376

8.9916

9.0

9.2

9.5

9.525

10.0

10.3124

11.0

11.1252

11.8

11.8872

12.0

12.4206

12.7

14.2748

14.3002

14.8

14.8844

15.875

16.0

17.3482

17.4752

18.1

19.05

20.0

20.6502

21.1

22.1742

22.225

23.8252

24.0

25.4

27.0002

28.575

30.1752

31.75

33.3502

34.925

36.5252

38.1

39.7002

41.275

42.8752

44.45

46.0502

47.625

49.2252

50.8

52.4002

53.975

55.5752

57.15

58.7502

60.325

61.9252

63.5

65.1002

66.675

68.2752

69.85

70

71.4502

73.025

74.6252

76.2

77.8002

79.375

80.9752

82.55

85.725

87.3252

88.9

92.075

93.6752

95.25

98.425

100.0252

101.6

104.775

106.3752

107.95

111.125

112.7252

114.3

117.475

119.0752

120.65

123.825

125.4252

127

130.175

131.7752

133.35

136.525

138.1252

139.7

142.875

144.4752

146.05

149.225

150.8252

152.4

155.575

157.1752

158.75

161.925

163.5252

165.1

168.275

169.8752

171.45

174.625

176.2252

177.8

180.975

182.5752

184.15

187.325

188.9252

190.5

193.675

195.2752

196.85

200.025

201.6252

203.2

206.375

207.9752

209.55

212.725

214.3252

215.9

219.075

220.6752

222.25

225.425

227.0252

228.6

231.775

233.3752

234.95

238.125

239.7252

241.3

244.475

246.0752

247.65

250.825

252.4252

254

257.175

260.35

263.525

266.7

273.05

276.225

279.4

285.75

288.925

292.1

298.45

301.625

304.8

311.15

314.325

317.5

330.2

336.55

339.725

342.9

355.6

361.95

365.125

368.3

381

387.35

390.525

393.7

406.4

412.75

415.925

419.1

431.8

438.15

441.325

444.5

457.2

463.55

466.725

469.9

482.6

492.125

495.3

508

517.525

520.7

542.925

546.1

568.325

571.5

593.725

596.9

619.125

622.3

644.525

647.7

669.925

673.1

-

長さ(mm)

2.1167

3.175

4

4.7625

5

6

6.35

7.9375

8

9.525

10

11.1125

12

12.7

14

14.2875

15.875

16

17.4625

18

19.05

20

22

22.225

25

25.4

26.9875

28

28.575

30

31.75

32

34.925

35

38.1

40

41.275

44.45

45

50

50.8

53

57.15

58

60

63.5

64

65

69.85

1000

-

LEAD

8

16

18

20

22

24

28

32

44

-

面方位

C面

R面

-

サイズ

□10mm

□25mm

13mm×5m

250mm×250mm

Lサイズ

M10用

M12用

M16用

M6用

M8用

Mサイズ

Sサイズ

Φ50.8mm

-

8mm×5m

厚み

0.3mm

0.43mm

0.5mm

1mm

-

12.7mm

0.038 mm

0.025 mm

0.035mm

0.05mm

0.08mm

品名

真空用

セラミックペースト

大気用

内容量：2.2g

内容量：25g

内容量：50g

ワイヤーストリッパー

圧着工具

引抜工具

-

販売数量

100個単位

10個単位

CeFiX®フランジ

使用可

使用不可

-

NWフランジ

使用可

使用不可

-

RoHS対応

○

RoHS2対応

○

曲げ半径

15.2mm　※平方向のみ

22mm

9.6mm

3 kV

14mm

4mm

16.7mm

7.1mm

6.35mm

80mm

100mm

150mm

VFVG

VF/VG 20

VF/VG 25

VF/VG 40

VF/VG 50

VF/VG 80

VF/VG 100

VF/VG 125

VF/VG 150

VF/VG 200

VF/VG 250

モード

シングルモード

マルチモード

コネクタ

SMA905

鉛当量（mmPb)

1.5

熱膨張係数（/℃）

80✕10-7(30~380℃)

軟化点（℃）

585

曲げ強度（MPa）

25

ヤング率（GPa）

63

ポワソン比

0.24

ヌープ硬度

370

屈折率（Na-D線）

1.71

ボルト穴間隔

□ 53.6 x 37.6

□ 53.6 x 82.1

□ 64.6 x 49.1

□ 64.6 x 74.1

□ 79.6 x 46.6

□ 79.6 x 75.6

□ 99.6 x 45.6

□ 99.6 x 80.6

□ 99.6 x 93.6

ボルト穴経

5.5

対応レーザー

UV

DUV

EUV(エキシマ）

UV/VIS

VIS/NIR

ARｺｰﾄ済:365～780nm

耐電圧

3 kV

3 kVAC / 10 kVDC

150V

6 kV

10 kVAC / 30 kVDC

8 kV

ARコート

○

ガラス

ホウケイ酸ガラス

ファイバー径 (μm)

125/9

125/50

繰返曲げ半径(R)

75

45

-

130

190

200

240

250

330

390

ICF（タップ）

34

プラグ/コネクタ

片側のみ

両側

導体抵抗（20℃・最大～最小）

37.2Ω/km～500MΩ/km

58.6 Ω/km

49.8Ω/km

38.3Ω/km

耐電圧：AC

600 V

1000 V

100 V

2000 V

3 kV

3 kV（ｽﾊﾟｰｸ)/1 kV(1分間）

耐電圧（DC）

2 kV

10 kV

12 kV

700 V

真空・大気

大気用

真空用

Φ C1

70

95

Φ C

60

Φ D

50

適用ケーブル径

Φ6-10

A(外径)

33

48

26

18

21

24

30

36

42

50

60

75

100

B(内径)

19

25

38

6

7.5

9

12

15

18

32

50

形状

A

B

ストレート

アングル

シングル

ダブル

45°

90°

スタンダード

ニップル型

ピン

ソケット

段あり

段なし

アウター

インナー

L型

Y型

Z型

S字

フラット

ドーム

コニカル

電流値（1本あたり）

【参考値】コンスタンタン：5A

【参考値】アルメル：6.5A /クロメル:4.0A

3A

色

ネイビー:SVC16,SVC16-A14/-L18用

ワインレッド:PVC16,PVC16CH,PVC16AL用

ライトブルー:SVC16CHA/ALA/CU/CT用

ブラウン:SVC10D用

シルバー:SVC24CU用

白、黒、グレー、緑、茶、青

白

用途

SVC16,SVC16-A14,SVC16-L18用

PVC16,PVC16CH,PVC16AL用

SVC16CHA/ALA,SVC16CU/CT用

SVC10D用

SVC24CU用

ベースプレート

ゲージポート

ゲージポート/ウィルソンシール

ソケットコンタクト圧着用工具

ソケットコンタクトをインサートに挿入するための工具

ケーブルにソケットコンタクトを圧着するための工具

インサートからソケットコンタクトを抜くための工具

圧着工具に装着するソケットコンタクト固定治具

ISO

63

80

100

160

200

250

320

400

端末処理

片側：Y端子片側：なし

片側：Y端子片側：ｿｹｯﾄｺﾝﾀｸﾄ

片側：Y端子片側：プラグ

片側：なし片側：ｿｹｯﾄｺﾝﾀｸﾄ

なし

片側：なし片側：インサート

片側：圧着端子　片側：なし

片側：M2圧着端子　片側：なし

片側：M3圧着端子　片側：なし

片側：M4圧着端子　片側：なし

ピン径

1.4 mm

2.4 mm

2.3 mm

1.3 mm

1.33 mm

3.5 mm

1.6 mm

3.9 mm

4 mm

6.4 mm

19.1 mm

1/4 inch

M16

M24

絶縁耐圧

10 kV / mm

ねじサイズ

#4-40 UNC-5/16

#4-40 UNC

電極*

無酸素銅/アルミ・ニッケル・コバルト合金

幅

457 mm

10 mm

609 mm

付属品

SUSナット、ワッシャー

継手形状

90°エルボ

45°エルボ

ティー

3方向エルボ

接面材質

SUS316L

SUS 316(複作動）、SUS316L（その他）

DN（内径）

22

33

40

47.5

50

80

100

初回サービスまでサイクル

2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)

50,000

200,000 (常温、クリーン環境使用時)

30,000又は1年

M1

M4

M6

M8

M10

6-M4(6)

6-M6(10)

8-M8(12)

16-M8(12)

M2

M8

M10

Φ10

有効内径

1/4インチ

3/8インチ

1/2インチ

3/4インチ

1/1インチ

1-1/2インチ

2インチ

15

35

36

38.5

49.5

60

70

95

50

入力パワー

1 W以下

リークレート（ボンネット部）

<2x10-9Pa･㎥/sec

<2x10-9mbar-L/sec

<2.7x10-7Pa･l/sec

<1.0x10-10Pa･㎥/sec

リークレート（シートリーク）

<2x10-9Pa･㎥/sec

<2x10-9mbar-L/sec

<2.7x10-6Pa･l/sec

<1.0x10-10Pa･㎥/sec

キリ穴・タップ

キリ穴

タップ

プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧

≤ 0.2 MPa

≤ 0.12 MPa

プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧

≤ 0.5 Mpa

バルブ開時の許容最大差圧

≤ 0.1 Mpa

使用可能温度（ボディ）

150 ℃

使用可能温度（アクチュエーター）

120 ℃

150 ℃

使用可能温度（ポジションインディケーター）

70 ℃

60 ℃

プレート

SUS 316

ベローズ

SUS 316

ポジションインディケーター（接点

10 - 28V/DC, 1 - 50 mA

40mA:24VDC , 20mA 110/220VAC

容量

3.3 L

コンダクタンス

5 l/s

12 l/s

33 l/s

54 l/s

420 L/min(20℃空気に対する分子流領域での値）

インターフェイス

RS232+Analog Output

Logic

RS485

パワーオプション

Basic

SPS

センサー数

1

2

調整可能最小リーク量※1

<6.7x10-9Pa･㎥/sec

バルブ全閉時リーク量

<6.7x10-11Pa･㎥/sec

ガスINLET側

Φ8

オリフィス径

Φ3.5 mm

Φ3mm

軸シール潤滑材

高真空用シリコーングリース

バルブボディ軸

SUS 304

弁体

黄銅（Niメッキ）

コンダクタンス[L/S]

4

26

29

12.8

41.8

71.9

5

12

33

54

ボルト種類

キャップボルト

六角ボルト

六角ボルト/キャップボルト

チューブ外径：チューブ内径

1/2 inch

3/8 inch

1/4 inch

1/8 inch

-

継手サイズ

1/2 inch

3/8 inch

1/4 inch

1/8 inch

-

末端

M2

M3

M4

M5

両端チューブ

片側チューブ

両側継手

ボディ&メッシュ

SUS 304

SUS 316L

やわらかさ（ちょう度）

NLGI グレード：3-4

トルクリミット

なし

あり

寿命

10000回

100回

5000回

ストローク

25 ｍｍ

40 ｍｍ

70 ｍｍ

22 mm

50 mm

80 ｍｍ

100 ｍｍ

200mm

300mm

400mm

500 mm

700 mm

送り量

1mm/Rev(0.02μm/pulse)

1mm/Rev

2mm/Rev

最大許容推力

直進2kg/回転1.2kg

直進/回転3kg

直進/回転5kg

直進7kg/回転8kg

7.5kg(脱調12kg)

直進/回転10kg

12kg

15kg

20kg

30kg(脱調35kg)

60kg(脱調70kg)

動作

直線のみ

回転のみ

直線、回転

X軸

±5

±7.5

±12.5

Z軸

±50

Y軸

±5

±7.5

±12.5

定格電圧/温度

150 V / 125 ℃

100 V

200 V

方式

ベローズ

マグネット

繰り返し精度

0.1mm以下

0.05mm以下

0.01mm以下

XY:0.01mm以下、Z:0.1mm以下

0.2mm以下

移動量

X・Y±5mm

X・Y±12.5mm

X・Y±7.5mm、Z±5mm

使用可能ガス

大気、空気及び不活性ガス

大気又はガス（腐食性除く）

電気容量(Ｗ)

15 W

30 W

60 W

90 W

100 W

120 W

150 W

外装材

ガラスクロス

粘着力 (N/25mm)

4.41

5.39

6.13

引張強さ(N/25㎜)

78.5

122.6

245.2

伸び (%)

50

絶縁破壊電圧 (kV)

5

7

10

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