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▼ステージ
・ICFフランジ規格可動式ステージです
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・可動部はベローズシール方式
・ベーク耐熱：200℃まで

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基本情報
主要材質 SUS 304
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12 件の型式候補があります

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製品コード
型式
 ICF X軸 Y軸 Z軸 ストローク 繰り返し精度 寿命 有効内径
在庫・納期
単価
(税込)
27566
ICF70XY5S
70 ±5 ±5 - - 0.1mm以下 100回 38.5
27567
ICF114XY7.5S
114 ±7.5 ±7.5 - - 0.1mm以下 100回 49.5
27568
ICF70XY5HP
70 ±5 ±5 - - 0.01mm以下 5000回 35
27569
ICF114XY7.5HP
114 ±7.5 ±7.5 - - 0.05mm以下 10000回 50
27570
ICF114XY12.5HP
114 ±12.5 ±12.5 - - 0.05mm以下 10000回 60
27571
ICF152XY12.5HP
152 ±12.5 ±12.5 - - 0.05mm以下 5000回 95
27572
ICF203XY12.5HP
203 ±12.5 ±12.5 - - 0.01mm以下 10000回 95
27573
ICF152XYZ12.5S
152 / 70 / 34 ±12.5 ±12.5 ±50 - XY:0.01mm以下、Z:0.1mm以下 10000回 36
27574
ICF34LS25
34 - - - 25 ｍｍ 0.2mm以下 - 15
27575
ICF34LS50
34 - - - 50 mm 0.2mm以下 - 15
27576
ICF70LS25
70 - - - 25 ｍｍ 0.2mm以下 - 36
27577
ICF70LS50
70 - - - 50 mm 0.2mm以下 - 36
ICF X軸 Y軸 Z軸 ストローク 繰り返し精度 寿命 有効内径
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