真空環境で使用される各種フランジの正確な取り付け方法
このガイドでは、真空環境で使用されるフランジのボルト締め方法と必要なトルク値を分かりやすくまとめています。正確かつ安全にフランジを固定するための標準手順をご確認ください。
まず手でボルトを軽く締め付け、ガスケットが正しく配置されていることを確認します。
すべてのボルトを対角順に締付けます。締付けは目標トルクを一度に適用せず、段階的に均等に行います(例:目標トルクの20%→50%→80%)。
対角線上の順番に増し締めを繰り返します。フランジ同士の隙間を対角に4か所測り、片締めになっていないことを確認してください。
最後に時計回りに1周して締め付け緩みがないか確認します(例:8本の場合 ①→⑤→③の順)。
フランジ種類 | サイズ | ボルト規格 | 締め付けトルク(N・m) |
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ICF(銅ガスケットの場合) | |||
ICF | 34 | M4 | 2 ~ 3 |
ICF | 54 | M5 | 6 ~ 8 |
ICF | 70 | M6 | 6.9 ~ 9.8 |
ICF | 114 ~ 253 | M8 | 9.8 ~ 14.7 |
VF/VG | |||
VF/VG | 10 ~ 50 | M8 | 12 |
VF/VG | 65 ~ 150 | M10 | 20 |
VF/VG | 200 ~ 350 | M12 | 25 |
VF/VG | 400 ~ 550 | M16 | 32 |
注意: トルク値は参考値です。使用環境や材質によって適切な値が異なる場合があります。