真空部品 約10,000種類 を常時在庫17時当日出荷は(営業時間9:00〜18:00 土日祝除く)

製品カテゴリ
  • フィードスルー フィードスルー
    フィードスルー
  • 絶縁碍子 絶縁碍子
    絶縁碍子
  • ビューポート ビューポート
    ビューポート
  • 真空配管部品 真空配管部品
    真空配管部品
  • 真空バルブ 真空バルブ
    真空バルブ
  • 導入機 導入機
    導入機
  • その他 その他
    その他

ご利用いただくにはログインまたは会員登録をお願いします。

会員登録がお済みでない方

会員登録をすれば、便利な機能がご利用いただけます。

ぜひご登録ください!

※新規会員登録をお申し込み頂いてから本登録となるまで、数日間かかる場合があります。また当社の判断によりお断りする場合があります。

  1. 真空部品通販ならコスモ・テック
  2. 失敗事例 #01 「油回転ポンプの”おみやげ”をルーツポンプが丸のみした話」
失敗事例 #01 – 油回転ポンプとルーツポンプ

失敗事例 #01
「油回転ポンプの”おみやげ”をルーツポンプが丸のみした話」

1. 背景

  • 研究室で使用していた 油回転ポンプ(ロータリーポンプ) が不調。
  • 一時的な代替機として、ルーツポンプ(ドライポンプの一種) を同じ吸気ラインに接続・貸与。
  • 授業や実験で時間が押しており、ライン洗浄やモニタリングは最小限で済ませてしまった。

2. 事故の経緯(タイムライン)

時刻 作業内容 その時の判断 見落とし
0 h 油回転ポンプ停止 → ルーツポンプ設置 「フランジ形状は同じだし接続は簡単」 油ミストフィルタ未装着
+5 min ルーツポンプ起動 「異音なし・到達圧力OK」 吸気ライン内の油蒸気を未チェック
+10 min 排気口から独特の”焦げた油”のにおい 「しばらく回せば抜けるはず」 においは汚染のサイン
+1 h においが弱まらず実験中止 「これはまずい」 ポンプ内部まで油が侵入

3. 技術的な要因

項目 詳細
ポンプ方式の違い 油回転ポンプは作動油を潤滑・シールに使用。ルーツポンプは油を使わない(ドライ)ため、油分に弱い。
逆拡散 故障中のロータリーポンプが吐き出した油蒸気が吸気ラインに滞留していた。
ミストフィルタ欠如 ラインにトラップやフィルタを入れなかったため、油蒸気がダイレクト流入。
温度管理不足 立ち上げ時にルーツ内部が低温で、油が凝縮し付着しやすかった。

4. 影響・被害

  • ルーツポンプ内部に油が付着 → ベアリング・シールの劣化加速
  • 排気が常に油くさい → クリーン真空が必要な測定に再使用できない
  • オーバーホール見積:数十万円+ダウンタイム数週間
  • 実験スケジュール遅延、学生の卒論実験日に影響

5. 原因分析(5 Why で考える)

  1. なぜルーツポンプに油が入った? → ラインに油蒸気が残っていた
  2. なぜ油蒸気が残っていた? → 油回転ポンプが吐出したミストが配管に付着
  3. なぜミストを除去しなかった? → フィルタ設置・洗浄工程を省略した
  4. なぜ省略した? → 実験を早く再開したかった(スケジュール圧)
  5. なぜスケジュール圧があった? → 予備機とメンテ計画が不足していた

6. 学んだ教訓

  • ポンプの方式が違えば「相性問題」が必ずある
  • 配管は「きれいに見えても汚れている」――真空ラインは使い回し厳禁
  • 異臭・色の変化・到達圧力のわずかな悪化は重大な汚染のシグナル
  • 余裕のないスケジュールはチェックリストを”消去”する最大要因
  • 予備機を持つだけでなく、予備機投入フローを決めておく

7. 再発防止チェックリスト

  • 代替ポンプ接続前にラインを分解洗浄(IPA など揮発溶媒→乾燥)
  • ミストフィルタ/コールドトラップを必ず介在
  • 最初の 30 分は排気臭・振動・電流値をモニタリング
  • ポンプを跨いで機種を変える場合は専門業者に相談
  • 定期オーバーホール計画を年度初めに策定
  • トラブル対応を実験ノートと共有ドライブに記録し、後輩と共有

8. コラム:油回転ポンプ vs. ルーツポンプ

特性 油回転ポンプ ルーツポンプ
潤滑 作動油が必須 ドライ(ギア油は封入部のみ)
得意圧域 大気圧 → 10⁻³ Pa 10² → 10⁻¹ Pa(前段ポンプ必須)
油ミスト 発生する 発生しないがミストに弱い
代表的な故障 油劣化・逆流 オイル混入・ベアリング摩耗

9. まとめメッセージ(学生向け)

「急いでいるときほど、ひと手間を惜しまない」

真空装置は一見シンプルでも、ポンプ間の相性や汚染経路は複雑です。
次にポンプを交換するときは、配管の”見えない汚れ”を想像し、フィルタを付ける・洗浄する・短時間で様子を見る――この3ステップを忘れないでください。

10. 最終チェックリスト

  • ✅ ポンプ方式の違いと相性を確認した
  • ✅ 吸気ラインの分解洗浄を実施した
  • ✅ 必要なフィルタ・トラップを設置した
  • ✅ 初期運転時の異常を監視する体制を整えた
  • ✅ 緊急停止判断基準を明確にした
  • ✅ 作業記録を残す準備を整えた
  • ✅ 必要に応じて専門業者への相談準備を完了した
17時までのご注文で当日出荷受付 営業時間9:00~18:00 土日祝除く
お問い合わせ
以下のフォームにご記入下さい。
お問い合わせ内容確認後、
担当よりご連絡差し上げます。