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洗浄

洗浄とは、放出ガスを抑える方法の1つ。
真空チャンバー内に不純物があると真空度が良くならないため、チャンバー内部や部品の表面を洗浄する必要がある。
洗浄の方法としては機械油や皮脂などを取り除くための脱脂洗浄やパーティクルを除去する精密洗浄などがある。

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