フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
ある学生が真空配管に取り付けられたベローズバルブを閉める際、「しっかり止めないと漏れるかもしれない」と思い、ノブを限界まで強く締めました。その結果、内部の金属ベローズが潰れて変形し、バルブが正常に開閉できなくなりました。このバルブは再使用できず、装置を一時停止して交換対応となりました。一度大気開放してしまったため装置立ち上げにまた時間がかかってしまいました。