フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
新規ライン立ち上げに伴い、学生アルバイトが真空ポンプと装置の間に逆止弁(チェックバルブ)を組み込む作業を担当した。部品はねじ込み式で、作業自体は単純に見えたため、詳細な手順書やダブルチェックは省略されていた。
装置の運転中にトラブルが発生し、真空容器内の圧力が急激に上昇した。逆止弁の取付方向が逆であったため、大気が逆流してポンプ側に流れ込み、真空ポンプが過負荷で故障した。最終的に、逆止弁の取付方向が逆であったことが原因と判明した。