なぜOリングに問題が出るのでしょうか？

真空システム内に存在し、その正常な機能を阻害するものはすべて汚染物質とみなされ、対処する必要があります。チャンバー内を汚染物質で汚さないためには、洗浄度が非常に重要です。高真空や超高真空の用途では、真空システムの汚染につながる揮発性物質を含まない部品が必要です。

真空システムの汚染物質には2種類あります。
・システム内に不要な滞留物を生じさせ、ポンプでも除去ができない汚染物質
・気体としてシステムに入り、ポンプで排出することができる分圧を追加することになる汚染物質
システムが指定された圧力までポンプダウンしない場合、チャンバー内に閉じ込められた残留ガスが汚染物質とみなされます。しかし、システムの汚染は、気体でない粒子の混入や、システムの通常運転中に発生する汚染によっても起こる可能性があります。

真空の主な汚染源は何ですか？

真空システムの汚染の主な原因は、Oリングであることがほとんどです。未加工のOリングは、製造工程で化学的に生成された水分を大量に含んでいます。また、蒸気圧の低い溶剤や可塑剤も含まれている可能性があります。これらの汚染物質は徐々に表面に出てきて、脱離し（アウトガス）、チャンバー内に到達すれば気体として排出されます。負荷が高ければ高いほど、気体の排出に時間がかかり、工程汚染の可能性が高まります。バーチャルリークポケット内の水蒸気は、チャンバー内にほとんど到達しないため、ポンプで排出することができず、通常は脱離した後、別の表面で再吸収することを何度も繰り返してしまいます。

この問題はどうすれば解決できるのでしょうか？

Oリングから発生する汚染は、取り付け前にOリングを洗浄するか、真空焼成を行うことで回避することができます。

真空システムのOリング洗浄工程は、射出成形の離型剤と成形後の処理工程に由来する表面の粒子状汚染を低減または除去するように設計されています。

ベークアウトとも呼ばれる真空焼成工程では、部品をチャンバーに入れ、真空下で加熱し、部品に閉じ込められたガスやその他の汚染物質を追い出します。この工程では高熱を利用し、Oリングの表面や内部に残っている製造工程での水分や残留揮発性化合物を除去します。ベークアウトは基本的にアウトガスのプロセスを人工的に加速させ、不純物を取り除き、汚染を心配することなく超高真空や超高純度システムに部品をすぐに設置することを可能にします。

UCコンポーネンツはどのようにお役に立てるでしょうか？

UC Components, Inc.は、1974年以来、高真空部品の世界的なリーダーであり続けています。高真空、超高真空、およびその他の清潔な用途のRediVac® Oリングとねじを提供しています。

RediVac® Oリングはすべて精密洗浄されていますが、真空焼成することも可能です。

・洗浄済みのOリングは、UCコンポーネンツ独自の洗浄工程を経ています。すべての洗浄と包装は、クラス100/ISOクラス5の認定を受けたクリーンルームで行われます。この工程は、真空サービス用に設置する前のエラストマーシールの前洗浄の標準的な必要条件に基づいています。
・真空焼成されたOリングも精密洗浄工程にかけられます。この工程の後、Oリングのポリマー内に閉じ込められた水分を取り除くために、長時間の真空ベークアウト工程が行われます。真空焼成は、真空下での水蒸気アウトガスを大幅に減少させます。ほとんどの真空システムにおいて、主要な気体の発生源は水です。当社の真空焼成Oリングは、クラス100/ISOクラス5のクリーンルームで、窒素封入、二重包装されています。

また、カスタム製品の開発、クラス100/ISOクラス5クリーンルームでの洗浄と包装とともに、さまざまな標準および通気性の六角ナット、ワッシャー、およびねじを提供しています。
オンラインでパーツカタログをご覧いただき、必要なコンポーネントをお探しください。また、お問い合わせも受け付けております。在庫がない場合もありますが、必要なねじやOリングを入手し、製造することは可能です。