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- 事例
- アウトガス、ねじ、および真空システムについて
アウトガスとは何か、そしてシステムにどのような影響を与えるのでしょうか？
アウトガスとは、オフガスとも呼ばれ、物質に捕捉、凍結、溶解、吸収されたガスが放出されることを指します。このようなガスを高真空システム内に放置すると、最終的に敏感な機器やその他の表面で凝縮し、システムが作動不能になる可能性があります。これは清潔な高真空環境を作る場合や、維持する際によく起こる問題です。
アウトガスの主な発生源は何ですか？
さまざまな材料が軽量の分子を放出し、真空プロセスに干渉することがあります。通常、吸収性がないと考えられている材料（金属やガラスなど）であっても同様です。また、蒸気圧や高温での化学反応の速度も、アウトガスの発生率を高める原因となります。
主なアウトガスの発生源は、
・プラスチック
・エラストマー
・接着剤
・多孔質セラミックス
・多孔質金属
・潤滑油
・熱伝導グリス
・指紋、毛髪、皮膚
・埃
・食品 など
一般的なアウトガスの問題は、次のようなものです。
・水蒸気
・オイル
・オイルの蒸気
・溶剤
・有機物
一般的な材料のアウトガス発生率
| 材料 | レート* (10-9 mbar/sec-cm2) | レート** (10-8 Torr・l/sec.) |
| ステンレススチール | 13.5 | – |
| クロームめっき鋼 | 7.1 | – |
| 電解研磨ステンレス鋼 | 4.3 | – |
| アルミニウム | 6.3 | – |
| ニトリル | 3,500 | 300 |
| ケルF | 40 | 4 |
| シリコン | 18,000 | 2,000 |
| フッ素樹脂 | 1,140 | 2,000 |
| 焼成フッ素樹脂 | 4 | 0.2 |
| パーフロロエラストマ | – | 0.3 |
| ポリフッ化樹脂 | 300 | 400 |
| ポリアミド | 900 | 80 |
| パイレックスガラス | 7.4 | – |
**Peacock, R.N., J. Vac. Sci. Technol., Jan./Feb. 1980
ボルトやねじなどの一般的な締結部品は、ほぼすべての機械に必要不可欠なものです。そのため、特に腐食性要素、極端な温度、極端な圧力、または高いレベルの物理的な負荷にさらされる場合、部品の製造、および加工後の処理に使用される材料は、メーカーにとって重要事項です。
適切なねじを使用することで、真空システム内のアウトガスの量を劇的に軽減し、さらに表面を洗浄し、個々の部品を加熱する（「ベーキング」と呼ばれる方法）ことで、真空システム内のアウトガスを実質的に排除することができます。
UCコンポーネントのねじは、この問題をどのように解決するのですか？
UCC製品はこちらよりご確認ください。
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