フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
真空ポンプとは、容器内から気体を排出し、真空を得るためのポンプ。
到達させたい圧力によって使用するポンプは異なるが、基本的に吸気口(気体を吸入する部分)/ポンプ(本体)/排気口(真空ポンプ内部に入れられた気体 が排出される部分)により構成されている。