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ビューポート選定ガイド
全体像（まず”用途”と”光”を整理）
ビューポートは真空・機械・光学の条件が同時にかかる部品です。選定ミスは、透過不足・ゴースト・焼損・リーク・熱割れなどの原因になります。最初に、次の観点を埋めてから材質／コーティングを決めましょう。
- 観察目的： ただ「中を見たい」／撮像（カメラ）／レーザー透過／露光・加工 など
- 光条件： 波長、出力・フルエンス、連続 or パルス、スポット径・照射時間
- 環境条件： 到達圧力、ベーク温度、化学雰囲気（有機溶媒・酸性ガス等）、放射線・プラズマ曝露
- 機械条件： フランジ規格（ICF / NW / ISO / JIS）、口径、可視有口径、窓厚、取付角度（ウェッジの要否）
用途別の基本ガイド
1) “中を見たいだけ”なら
ホウケイ酸ガラス（コバールガラスともよばれる）のビューポートがもっとも安価で扱いやすい選択肢です。撮像・目視中心で、可視〜近赤外が主用途、ベーク温度も中程度で足りる場合に向きます。
2) レーザーを透過する場合は
まず波長チャートを確認し、透過させたい材質の窓を選定してください
同じ”石英“や”サファイア“でもグレード差で透過波長域やレーザー損傷閾値（LIDT）が変わります。短波長（DUV/EUV）を使うなら、EUV/DUVグレードを指定してください。
3) 反射・透過率の現実値
窓は必ず反射があります。両面で約8%の損失が目安となり（波長・角度で変動）、その分透過率が落ちます。透過率を上げるにはARコート（反射防止膜）が必要です。設計波長・角度に合わせて最適化することで、高い総透過が狙えます。
【ARコート仕様依頼（必須項目）】
| 使用波長 | ： |
|---|---|
| 透過率 | ： |
| 光源 | ： |
| 照射範囲 | ： |
| 出力 | ： |
| 照射時間 | ： |
コーティングの要点
- AR（反射防止）コート： 「対象波長」「入射角」「偏光」を加味して設計します。片面/両面の選択、帯域幅（単色～広帯域）、LIDT、ベーク温度適合も要確認です。
- 保護コート： プラズマ・薬品・拭き取りなど取り扱い環境次第で必要。膜材によっては温度上限・吸湿・散乱増加に注意。
4) 反射を”角度”で抑える方法：ブリュースター角
窓を斜めに取り付け、ブリュースター角でp偏光を入射させると、（単一界面で）反射を0にできます。実務では、両面を同時にブリュースター条件にするにはウェッジ（くさび）や配置工夫が必要で、ビーム偏向や視差への配慮も欠かせません。
材質メモ（選定の勘どころ）
| 材質 | 特徴 | 適用範囲 |
|---|---|---|
| ホウケイ酸ガラス | 可視～近赤外で観察用途に好適。コスト◎。 | 深UVや高出力レーザーでは限界が出やすい。 |
| 合成溶融石英 （Synthetic Fused Silica） |
金属不純物・OH含有を抑えたグレードは短波長透過・レーザー耐性に優れ、DUV/EUVグレードも選べる。 | ベークや熱衝撃にも比較的強い。 |
| サファイア | 高強度・高硬度・広帯域透過。熱的・機械的にタフで、耐擦傷性も高い。 | 偏光・複屈折・グレード差に注意。 |
ありがちな落とし穴
- “同じ石英なら同じ”と思い込む：グレード違いで短波長透過やLIDTが大きく変わる。EUV/DUVグレード指定を忘れない。
- ARを片面だけ：入射角や内部反射でゴーストが出ることがある。光路設計とセットで膜設計を。
- レーザーでの焼損：スペック表の「平均透過」だけ見てLIDT無視は危険。波長・パルス幅・繰返し・欠陥密度が効く。
- UVにホウケイ酸：長時間で黄変・透過低下の可能性。短波長は合成溶融石英／対応グレードへ。
まとめ（指針）
- ただ中を見たいだけなら、ホウケイ酸（コバールガラス）が最安・実用的。
- レーザー透過は、まず波長チャートを確認し、適切な材質を選ぶ
- 石英・サファイアはグレードで性能が違う。短波長はEUV/DUVグレードを明確指定。
- 窓は必ず反射（目安：両面で約8%）。高透過が必要ならARコートを前提に。
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