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- 事例
- 失敗事例 #04 「ピラニ真空計に油が逆流し、正しい圧力が測定できなくなった」
0. 教訓
1. 事例内容
研究装置の到達圧力をピラニ真空計で常時モニタリングしていたが、ある日 1 Pa 付近で数値が振れ続ける 異常を検知。分解点検した結果、計測子内部までフォアポンプ油が上がり込み、熱伝導センサーを覆っていた。
失敗した人の声
2. 原因
フォアライントラップ未設置
オイル逆流を止める最終防壁がなく、停止時の差圧で油が上昇。
ピラニ真空計を下向きに設置
重力方向に油が流れ込みやすく、逆流を助長。
ポンプ停止手順の不備
バルブ遮断やN₂ブローを行わずに電源を切ったため、ライン内の負圧が油を引き込んだ。
3. 影響・被害
- 測定値の信頼性喪失 — 取得済みデータをすべて再測定（実験やり直し）
- センサーヘッド交換 — 部品代 5万円
- チャンバー内の洗浄 — 油汚染によるチャンバー内部の徹底洗浄が必要
- 装置停止 2日 — スケジュール遅延・人件費ロス
4. 防止策
真空計器の正しい設置方向の確認、フォアライントラップの設置、適切なポンプ停止手順の実施により、油逆流を防止する。
図2：正しい設置方法（トラップ設置）
5. 再発防止チェックリスト
- ✅ オイル系フォアポンプにはトラップまたは液体窒素トラップを必ず直列挿入
- ✅ ポンプ停止手順の実施
- 真空計を大気遮断
- フォアラインに乾いたN₂を少量導入
- 最後にポンプ電源OFF
- ✅ 定期点検時にピラニのゼロ点ずれを確認：大気で1013 hPaにならない場合は油汚染を疑う
- ✅ オイル耐性の高い計器を選定：「油が上がるかも」と感じたら迷わずピエゾ式などを選択
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