フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
研究室で使用していた油回転ポンプ(ロータリーポンプ)が不調となり、一時的な代替機としてルーツポンプ(ドライポンプの一種)を同じ吸気ラインに接続・貸与することになりました。授業や実験で時間が押していたため、ライン洗浄やモニタリングは最小限で済ませました。
フランジ形状が同じだったため接続は簡単で、ルーツポンプを起動した際には異音もなく到達圧力も問題ありませんでした。しかし15分後、排気口から独特の”焦げた油”のにおいが発生。1時間後にはにおいが弱まらず実験を中止せざるを得ませんでした。
技術的な要因として、以下の問題が重なりました:
根本原因を5 Whyで分析すると以下のようになります: