フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
大学の研究室は民間企業の研究室とは異なり、スペースも少なく予算も限られているため、一つの装置を改良しながら使っているケースがほとんどです。