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- フランジ締め付け手順及びトルク値
フランジのボルト締め手順ガイド
真空環境で使用される各種フランジの正確な取り付け方法
📋目次
このガイドでは、真空環境で使用されるフランジのボルト締め方法と必要なトルク値を分かりやすくまとめています。正確かつ安全にフランジを固定するための標準手順をご確認ください。
🔧フランジのボルト締め標準手順
-
仮締め
まず手でボルトを軽く締め付け、ガスケットが正しく配置されていることを確認します。
-
段階的締め付け
すべてのボルトを対角順に締付けます。締付けは目標トルクを一度に適用せず、段階的に均等に行います（例：目標トルクの20%→50%→80%）。
-
隙間確認
対角線上の順番に増し締めを繰り返します。フランジ同士の隙間を対角に4か所測り、片締めになっていないことを確認してください。
-
最終確認
最後に時計回りに1周して締め付け緩みがないか確認します（例：8本の場合 ①→⑤→③の順）。
📊ボルト締め例（ボルト本数別）
6本の場合
8本の場合
12本の場合
16本の場合
24本の場合
パネルマウント 4本の場合
📏規定トルク値表
| フランジ種類 | サイズ | ボルト規格 | 締め付けトルク（N・m） |
|---|---|---|---|
| ICF（銅ガスケットの場合） | |||
| ICF | 34 | M4 | 2 ～ 3 |
| ICF | 54 | M5 | 6 ～ 8 |
| ICF | 70 | M6 | 6.9 ～ 9.8 |
| ICF | 114 ～ 253 | M8 | 9.8 ～ 14.7 |
| VF/VG | |||
| VF/VG | 10 ～ 50 | M8 | 12 |
| VF/VG | 65 ～ 150 | M10 | 20 |
| VF/VG | 200 ～ 350 | M12 | 25 |
| VF/VG | 400 ～ 550 | M16 | 32 |
注意: トルク値は参考値です。使用環境や材質によって適切な値が異なる場合があります。
📐フランジごとのボルトの長さ
| ICF | VF/VG | ISO-F | ボルトサイズ | 切り穴（mm） | タップ（mm） |
|---|---|---|---|---|---|
| 34 | – | – | M4 | 20 | 15 |
| 54 | – | – | M5 | 30 | 18 |
| 70 | – | – | M6 | 35 | 22 |
| – | – | 63 – 100 | M8 | 40 | – |
| 86 / 114 | – | – | M8 | 45 | 30 |
| 152 | – | – | M8 | 50 | 35 |
| 203 | – | – | M8 | 55 | 40 |
| 253 | – | – | M8 | 60 | 45 |
| – | 10 – 25 | – | M8 | 30 | 18 |
| – | 40 – 50 | – | M8 | 35 | 20 |
| – | 65 | – | M10 | 35 | 20 |
| – | 80 – 150 | – | M10 | 40 | 22 |
| – | – | 160 – 250 | M10 | 50 | – |
| – | 200 – 300 | – | M12 | 55 | – |
| – | 350 | 320-630 | M12 | 60 | – |
| – | 400 – 450 | – | M16 | 65 | – |
| – | 500 – 550 | – | M16 | 70 | – |