バルブ

バルブVシリーズ コスモ・テックオリジナル配管

NW/KF、ICFフランジ付きのバルブシリーズです。

大気と真空を隔離するためのバルブです。
ベローズ方式を採用しておりますので、高い気密性を保持させることが可能です。
L型のほか、ストレート型もご用意しております。

 

リークポート

スタンダードなリークポートから、ニップルにリークポートがついた変わり物もご用意しております。

 

L型ベローズバルブ

NW/KF 手動/圧空式、ICF 手動の3種類をご用意しております。

 

ストレートバルブ

L字配管がくめない部分ではストレート型をオススメしております。

 


ポリイミドバルブ

10-8Pa程度の超高真空領域まで使用出来るL型バルブです。

真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少ないポリイミド樹脂を使用しております。

 

Point1.耐熱性

ポリイミドシールは開閉いずれの場合でも室温から最高300℃まで繰り返しベーキング可能です。

 

Point2.ガス放出の少なさ

ポリイミド樹脂はフッ素ゴムと比較するとアウトガスが少ないため、

10-8Pa程度の超高真空を容易に達成することができます。

 

Point3.小さな締め付けトルク

ポリイミドシールの締め付けトルクはメタルシールほど大きなトルクを要しません。


ガス導入バルブ (超高真空バリアブルリークバルブ)

真空装置へ微量ガスを導入するためのもので、ガス流量を微量コントロールでき、
450℃までの加熱出しが可能な超高真空仕様となっています。(コンフラットフランジ)

シール部分も含めて金属を使用しているため、450℃までのベーキングが可能です。

室温使用時は約300回、ベーキング時は約30回のシールが可能です。

(Cuガスケット交換可能)

 

用途:

導入ガス流量の調整を必要とする真空装置

スパッタ装置やガス分析装置

物理学実験・研究用装置など

 

このほか真空装置内を大気にするリークバルブ等がございます。


アイソレイトバルブ V-025SV NW / KF 25

本バルブは主にロータリーポンプの吸気口に取り付けて使用するもので、ポンプ停止時に被排気系を真空封止し、その後ポンプ側を大気ベントさせる2つの機能を兼ね備えた、バルブ駆動に圧搾空気を用いない自動バルブです。

自動及び手動排気装置等の停電や誤操作等によりポンプオイルの逆流防止に役立つバルブです。

 

お問い合わせの際には、定格電圧AC100V or AC200Vのご指定をお願いいたします

 

100V仕様は標準在庫しておりますので、こちらよりご確認下さい


メタルバルブ

オールメタル製で、圧力10-8Pa以下の超高真空領域までご使用いただけます。

真空にさらされる箇所はオイルフリーで清浄です。

400℃または450℃までのハードベークを伴う超高真空用バルブとして最適です。

 

Point.1 超高真空領域まで使用出来る

Point.2 耐熱性 CF34:~400℃ CF70 and CF114:~450℃


ゲートバルブ

チャンバー同士や大気との遮断に使用されるため、流体の仕切弁とも言われます。

手動駆動、自動駆動があります。

 

用途:

排気系のメインバルブ

サンプル等の導入用エアロックバルブとして

イオンビーム光源等の導入用として

その他、真空の保持が必要な移送ライン

 

他にもバタフライバルブ等もございますので、ご相談下さい