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真空用語一覧



弊社でよくご質問いただく用語をまとめました。
真空に関わったばかりで用語に馴染みがないという方はぜひご一読ください。

アウトガス(放出ガス) アウトガスとは、真空チャンバー内部で真空チャンバーや部品などから放出 される気体のこと。真空チャンバー内で使用する場合は必ずアウトガスのな いもの又は少ないものを選定する必要がある。材料によりその成分が大きく 違うがステンレス鋼の場合、内部に二酸化炭素などが溜まっていることがあ る。また表面には主に水分が吸着していることが多いが、ベーキングといっ てチャンバー内を数時間、高温状態にさらすことでアウトガスを減らす事が できる。



キリ穴(バカ穴/ホール) キリ穴とは、ねじ切りをしていない穴のこと。ICFフランジのボルトを入れ るところを指すことが多い。


吸着ガス 吸着ガスとは、材料表面に吸着しているガス。吸着ガスの代表は水であり、 他にも洗浄などで落ち切れなかった有機物や、窒素や酸素などの気体成分な ども吸着している。


クランプ クランプとは、配管をつなぐための部品。真空だとC型クランプやチェーン クランプなどが一般的。


高真空 高真空とは、日本のJIS(日本工業規格)で定められた真空の区分の一で真 空度が10-5~0.1Paの状態を指す。


コンタミ コンタミとは、コンタミネーション(英語: contamination)の略。本来混 入するべきでない物質が混入した場合指す。「クリーンルーム内でコンタミ の発生を防ぐために洗浄を行う」というように使用する。



サファイア基板 サファイア基板とは、優れた機械的・熱的特性・化学的安定性・光透過性な どの特性を有するため、人工的に育成された不純物の少ない高純度単結晶サ ファイアが多くの工業用分野で使われている。


シール(パッキン/ガスケット) シールとは、部品同士を気密を保持しながら接続するための部品。主にフラ ンジとフランジの間に使用される。NW/KFやJISフランジならゴムのOリング、 ICFなら金属が使用される。


真空 真空とは、1気圧未満の状態を表す。


真空計 真空計とは、容器内部の圧力を測るための部品。ブルドン管のような簡易的 なものから四重極形質量分析計のような内部のガス成分を計測できるものま である。


真空装置 真空装置とは、真空状態の持つための装置。


真空バルブ 真空バルブとは、大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断するためのも の。完全にオンオフしかできないバルブだけでなく流量を調整できるバルブ もある。


真空ポンプ 真空ポンプとは、容器内から気体を排出し、真空を得るためのポンプ。到達 させたい圧力によって使用するポンプは異なるが、基本的に吸気口(気体を 吸入する部分)/ポンプ(本体)/排気口(真空ポンプ内部に入れられた気体 が排出される部分)により構成されている。


ステンレス鋼 ステンレス鋼とは、真空用材料として広く使用されている。特にオーステナ イト系のSUS304は放出ガスが少なく加工性が高いためよく使用されている。 非磁性対応の場合SUS316Lなども多く使用されている。 また欧州ではSUS316 LNといった材質なども使用されている。


成膜 成膜とは、薄膜を形成することを「成膜」と呼ぶことが多い。ガラス・樹 脂・金属などの基板に成膜することで、電気を通したり、光をコントロール したり、発熱させたり、といった、元々の基板になかった機能をもたせるた めに行う。スマホに入っている半導体などは成膜が行われている。


石英ガラス 石英ガラスとは、熱伝導率が小さいが、熱膨張率も非常に小さい。 急激な 温度変化による熱衝撃の影響をあまり受けない。高融点や紫外線透過性が必 要な研究に適している。


洗浄 洗浄とは、放出ガスを抑える方法の1つ。真空チャンバー内に不純物がある と真空度が良くならないため、チャンバー内部や部品の表面を洗浄する必要 がある。洗浄の方法としては機械油や皮脂などを取り除くための脱脂洗浄や パーティクルを除去する精密洗浄などがある。


ソケットコンタクト ソケットコンタクトとは、多ピンに使用する部品。



単管 単管とは、パイプの別称。


チャンバー チャンバーとは、内部を真空にするための容器。チャンバーの内部で実験を 行ったり、製造を行ったりする。良い真空状態を維持するためには内面の研 磨や材質、溶接方法などに注意が必要。


低真空 低真空とは、日本のJIS(日本工業規格)で定められた真空の区分の一で真 空度が100Pa以上の状態を指す。


DN規格 DN規格とは、ヨーロッパで主に使用されている規格。ISOやNW規格と同じく パイプの内径を基準としている。以下の対照表を参照。
DN NW ICF
16 16 34
25 25 -
40 40 70
50 50 -
63 63 114
100 100 114
160 160 203
200 200 253



熱電対 熱電対とは、温度を計測するための部品。『K, J, T, E, R, S, B,・・・』 などのアルファベットが、熱電対の種類を表す記号で日本工業規格(JIS)や 国際電気標準会議(International Electrotechnical Commission : IEC)等 で規格化されている。



パスカル パスカルとは、圧力・応力の単位 参考:1気圧=1,013.25[hPa]=101,325 [Pa]


PEEK PEEKとは、プラスチックの材質の一つ。アウトガスが少ないため真空中で使 用される事が多い。


表面研磨 表面研磨とは、チャンバー内部が凸凹になっているとその隙間に入り込んだ ガスが放出ガスとなってしまい真空度が良くならない原因になるため、凹凸 を除去するために行うもの。研磨紙を当てて行う表面研磨から電気化学的な 研磨と研磨材による物理的研磨(表面を物理的に削る)を複合して同時に行 う電解研磨などがある。


表面分析装置 表面分析装置とは、試料の表面を分析するための装置。電子やその他の粒子 (X 線など)を利用した分析装置では大気分子による影響を排除するため真 空中で行うことが多い。


フィードスルー フィードスルーとは、真空状態を保っている機器の内側へ電気信号や物理的 な運動、流体などを通すために使用する部品。電流を通す場合は電流導入端 子、水やガスを通す場合は水冷・ガス導入機、などと呼ばれる。


フランジ フランジとは、配管同士をつなぐ部分に使用する部品。気密を維持するため にシール機能を持っている。材質は主にSUS304が使用される。


ベーキング ベーキングとは、放出ガスを抑える方法の1つ。チャンバー内部を数時間、 高温にすることで表面の水分などを除去することができる。


ホウケイ酸ガラス ホウケイ酸ガラスとは、ホウ酸を混ぜて熔融し、軟化する温度や硬度を高め たガラス。真空では石英と並んで一般的に使用されている部材。主に目視用 の窓材として使用される。



リークテスト リークテストとは、真空チャンバーの微小な穴、シール不良などによる想定 外の外部からの気体の流入がないかを確認するために行うテスト。ヘリウム ガスを使用しリークディテクタという装置で検査を行うのが一般的。