VPT-060

アルバック機工製 ターボ分子ポンプ+ドライ真空ポンプ VPT-060

vpt-060

在庫あり。即日出荷いたします。
標準価格:850,000円(税別)
販売価格はお問い合わせ下さい。



即起動・即実験

弊社では、アルバック機工製 ターボ分子ポンプ ドライ排気セット VPT-060 を常時在庫即日出荷サービスを提供しております。

コンパクトな卓上型

必要な機器をコンパクトに構成した、卓上型の高真空ドライ排気セットです。

完全ドライ

1次排気にダイアフラム型ドライ真空ポンプを搭載しているため、完全ドライを実現!
オイル交換の手間やオイルミストによる真空チャンバー内の汚染はございません。

仕様


型  式 VPT-060
到達圧力 10-5 Pa台
メインポンプ ターボ分子ポンプ (空冷) 60 L / Sec.
補助ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20 L / Min.
吸気口 ISO-K63 *1
質量 17 kg
最大寸法 (w幅×d奥行き×h高さ) 340mm(w)×340mm(d)×355mm(h)
*1 VPT-060ターボ分子ポンプ排気セットでは標準の吸気口がISO-K63となっております。

オプション


弊社では、ISO-K63からNW/KF40またはNW/KF50への規格変換ニップルを常時在庫しております。*2
製品到着後すぐにご使用頂けるよう、変換継手一式をオプションとしてお求めいただけます。

型式 ISOK63/NW40SET
品名 ISO-K63/NW40規格変換ニップル継手セット
セット内容

・ISO-K63/NW40変換ニップル1個
・ISO-K63センターリング1個
・ISO-K63クロウクランプ4個
・NW/KF40チェーンクランプ1個
・NW/KF40センターリング1個

型式 ISOK63/NW50SET
品名 ISO-K63/NW50規格変換ニップル継手セット
セット内容 ・ISO-K63/NW50変換ニップル1個
・ISO-K63センターリング1個
・ISO-K63クロウクランプ4個
・NW/KF50チェーンクランプ1個
・NW/KF50センターリング1個
*2 規格変換ニップルをご使用の場合、以下の通り排気量が変動します。

吸気口径 排気量
NW/KF40 36 L / Sec.
NW/KF50 45 L / Sec.(理論値)
ISO-K63 60 L / Sec.