真空ポンプ

キャノンアネルバ製品

イオンポンプ

イオンポンプ

イオンポンプは、磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行う超高真空ポンプです。

ヘリウムリークディテクタ

ヘリウムリークディテクタ

広範囲なリーク量を測定するヘリウムリークディテクタ“ヘレン(HELEN)シリーズ”です。ヘレン(HELEN)シリーズのもれ量測定範囲は、10E-2~10E-13Pa・m3/sで真空吹付け法、フード法、ボンビング法、スニファー法による測定が可能です。また、リーク量を高い再現性と早い反応性で測定を行うリークディテクタです。電子部品、コンピューター用部品、自動車用部品、エアコン用部品など、様々な部品のリークテストにご使用いただいております。

トランスデューサ型 真空計シリーズ

トランスデューサ型 真空計シリーズ

大気圧から超高真空まで測定する幅広い真空計をラインアップしております。省エネ、省スペース、省配線も含めてご提案いたします。

ゲージ名と推奨測定圧力範囲1 ゲージ名と推奨測定圧力範囲2

測定球

ゲージ名と推奨測定圧力範囲3