フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
▼NW/KF ガラスベルジャー
・内部を容易に観察できるので、プラズマ、高温用途での制御に好適
・イオン注入装置等、極めてクリーンな用途には石英が最適です
・真空 10-7Pa 台に対応
・最高使用温度:Duran® 450℃,石英 1000℃
・低温領域は-50℃まで対応可能
※センターリングの使用温度にご注意ください(-20/-50℃~200℃)
▼ご使用時はガラス製品用のセンターリング、樹脂クランプをお選びください。
・センターリングはガラスーガラス用、ガラスー金属用ともにこちらよりご確認いただけます。
※金属用、ガラス用でそれぞれ厚みが違います
・樹脂クランプはこちらよりご確認いただけます。
※締結時はトルクのかけすぎにご注意ください
▼その他
・長さ変更も承ります。製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 100 |
| A | 134 |
| C | 102 |
| L(長さ) | 200 |
| フランジ材質 | 石英 |
| 最高温度 | 1000℃ |
| 最低温度 | -50℃ |
▼NW/KF ガラスベルジャー
・内部を容易に観察できるので、プラズマ、高温用途での制御に好適
・イオン注入装置等、極めてクリーンな用途には石英が最適です
・真空 10-7Pa 台に対応
・最高使用温度:Duran® 450℃,石英 1000℃
・低温領域は-50℃まで対応可能
※センターリングの使用温度にご注意ください(-20/-50℃~200℃)
▼ご使用時はガラス製品用のセンターリング、樹脂クランプをお選びください。
・センターリングはガラスーガラス用、ガラスー金属用ともにこちらよりご確認いただけます。
※金属用、ガラス用でそれぞれ厚みが違います
・樹脂クランプはこちらよりご確認いただけます。
※締結時はトルクのかけすぎにご注意ください
▼その他
・長さ変更も承ります。製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 125 |
| A | 161 |
| C | 127 |
| L(長さ) | 200 |
| フランジ材質 | 石英 |
| 最高温度 | 1000℃ |
| 最低温度 | -50℃ |
▼NW/KF ガラスベルジャー
・内部を容易に観察できるので、プラズマ、高温用途での制御に好適
・イオン注入装置等、極めてクリーンな用途には石英が最適です
・真空 10-7Pa 台に対応
・最高使用温度:Duran® 450℃,石英 1000℃
・低温領域は-50℃まで対応可能
※センターリングの使用温度にご注意ください(-20/-50℃~200℃)
▼ご使用時はガラス製品用のセンターリング、樹脂クランプをお選びください。
・センターリングはガラスーガラス用、ガラスー金属用ともにこちらよりご確認いただけます。
※金属用、ガラス用でそれぞれ厚みが違います
・樹脂クランプはこちらよりご確認いただけます。
※締結時はトルクのかけすぎにご注意ください
▼その他
・長さ変更も承ります。製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 160 |
| A | 190 |
| C | 153 |
| L(長さ) | 200 |
| フランジ材質 | 石英 |
| 最高温度 | 1000℃ |
| 最低温度 | -50℃ |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| NW/KF | 40 |
| A | 74 |
| B | 40 |
| 商品内容 | 本体 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| NW/KF | 40 |
| A | 50 |
| T | 5 |
| 窓 | 石英 |
| 商品内容 | 窓 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 70 |
| A | 70 |
| B | 30 |
| 商品内容 | 本体 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 70 |
| A | 40 |
| T | 4 |
| 窓 | 石英 |
| 商品内容 | 窓 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 70 |
| 商品内容 | パッキン |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 114 |
| A | 114 |
| B | 64 |
| 商品内容 | 本体 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 114 |
| A | 74 |
| T | 8 |
| 窓 | 石英 |
| 商品内容 | 窓 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 114 |
| 商品内容 | パッキン |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 152 |
| A | 152 |
| B | 98 |
| 商品内容 | 本体 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 152 |
| A | 110 |
| T | 10 |
| 窓 | 石英 |
| 商品内容 | 窓 |
▼交換用ビューポートフランジ
・窓材の交換、変更が可能なビューポートフランジです
・蒸着などで汚れた窓を新品に交換可能
・窓材のシールはOリングです
・SUSフランジ本体、Oリングx1、窓抑え環(テフロン)x1、固定ねじが付属しています
※窓材は付属しておりません
▼窓材について
・標準で石英ガラスをご用意しております
・ご希望の窓材がございましたらお気軽にご相談ください
▼交換用パッキン
・交換用パッキンをご用意しております
・内訳:窓封止用Oリング、窓抑え用テフロンリング
・本体型式の前にRRをつけたものが対応する交換パッキンの型式です
▼その他
・窓交換時の真空隔離用にバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| RoHS2対応 | ○ |
|---|---|
| ICF | 152 |
| 商品内容 | パッキン |