フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 10 kV |
| 電極数 | 1 |
| タイプ | 高電圧 |
|---|---|
| 接続タイプ | MS |
| 電極 | モリブデン |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -100℃ |
| リークレート | <1x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
| 耐電圧: DC | 12 kV |
| 電流/1本 | 7.5 A |
| タイプ | 高電圧・低電流 |
|---|---|
| 電極 | ステンレス |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -100℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 耐電圧: DC | 25 kV |
| 電流/1本 | 3 A |
| フィードスルー | 25 kV / 3 A |
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | ステンレス |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -100℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 耐電圧: DC | 25 kV |
| 電流/1本 | 50 A |
| フィードスルー | 25 kV / 50 A |
| タイプ | 高電圧・低電流 |
|---|---|
| 電極 | SUS 316L |
| フランジ材質 | SUS 316L |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 耐電圧: DC | 30 kV |
| 電流/1本 | 3 A |
| 電極数 | 1 |
| フィードスルー | 30kV / 3A |
| タイプ | 高電圧・中電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -100℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 耐電圧: DC | 30 kV |
| 電流/1本 | 50 A |
| フィードスルー | 30 kV / 50 A |