フィードスルー
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真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| タイプ | 高電圧RF |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -100℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 耐電圧: DC | 8 kV |
| 電流/1本 | N/A |
| フィードスルー | 8 kV |
| タイプ | 高電圧RF |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -100℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 耐電圧: DC | 10 kV |
| 電流/1本 | N/A |
| フィードスルー | 10 kV |
| タイプ | 水冷端子 |
|---|---|
| フランジ材質 | SUS 304 |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| タイプ | 低電圧・中電流 |
|---|---|
| 電極 | モリブデン |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -100℃ |
| リークレート | <1x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
| 耐電圧: DC | 700 V |
| 電流/1本 | 28 A |
| 接続タイプ | MS |
| タイプ | 高電圧・中電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 3 kV |
| 電流/1本 | 35 A |
| フィードスルー | 3 kV / 35 A |
| タイプ | 高電圧・中電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅+ Niめっき |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 3 kV |
| 電流/1本 | 35 A |
| フィードスルー | 3 kV / 35 A |
| タイプ | 高電圧・中電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 3 kV |
| 電流/1本 | 35 A |
| フィードスルー | 3 kV / 35 A |
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電流/1本 | 110 A |
| フィードスルー | 5 kV / 110 A |
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅+ Niめっき |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電流/1本 | 110 A |
| フィードスルー | 5 kV / 110 A |
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電流/1本 | 110 A |
| フィードスルー | 5 kV / 110 A |
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| フィードスルー | 5 kV / 110 A |
| 電流/1本 | 110 A |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅+ Niめっき |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電流/1本 | 110 A |
| フィードスルー | 5 kV / 110 A |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電極数 | 1 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電極数 | 1 |
| タイプ | 高電圧・中電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | SUS 430 |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電流/1本 | 22 A |
| フィードスルー | 5 kV / 22 A |
| タイプ | 高電圧・低電流 |
|---|---|
| 電極 | SUS 304 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | SUS 430 |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 5 kV |
| 電流/1本 | 3 A |
| フィードスルー | 5 kV / 3 A |
| タイプ | 高電圧・高電流 |
|---|---|
| 電極 | 無酸素銅 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 6 kV |
| 電流/1本 | 145 A |
| フィードスルー | 6 kV / 145 A |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 10 kV |
| 電極数 | 1 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 10 kV |
| 電極数 | 1 |