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真空配管部品 バルブ 製品一覧 真空配管部品
サブカテゴリ 3件 (1 ～3 件)
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フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
製品 15件 (1 ～15 件)
- 表示件数
- 表示切替
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製品コード ：20128
型式 ：NW16MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 16 A 40 D 56.8 E 60 L（長さ） 122〜141 コンダクタンス[L/S] 4 分類 手動 -
製品コード ：20172
型式 ：NW25MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 25 A 50 D 57 E 60 L（長さ） 128.4~148.2 コンダクタンス[L/S] 12.8 分類 手動 -
製品コード ：20216
型式 ：NW40MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 40 A 65 D 75 E 60 L（長さ） 167.5~198.5 コンダクタンス[L/S] 41.8 分類 手動 -
製品コード ：20467
型式 ：NW50MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 50 A 70 D 89 E 60 L（長さ） 190.5~235.5 コンダクタンス[L/S] 71.9 分類 手動
-
製品コード ：20466
型式 ：NW25PABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 25 A 50 D 57 L（長さ） 148.8 コンダクタンス[L/S] 12.8 分類 圧空 -
製品コード ：20602
型式 ：NW40PABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 40 A 65 D 76 L（長さ） 199.2 コンダクタンス[L/S] 41.8 分類 圧空 -
製品コード ：20672
型式 ：NW50PABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 50 A 70 D 89 L（長さ） 246 コンダクタンス[L/S] 71.9 分類 圧空 -
製品コード ：20489
型式 ：ICF34MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 38 D 120 ～ 139 E 60 L（長さ） 120～139 コンダクタンス[L/S] 4 分類 手動
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製品コード ：20092
型式 ：ICF70MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ ICF 70 A 63 D 161 ～ 201 E 60 L（長さ） 161～201 コンダクタンス[L/S] 26 分類 手動 -
製品コード ：20579
型式 ：ICF114MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ ICF 114 A 105 D 227 ～ 268 E 60 L（長さ） 227～268 コンダクタンス[L/S] 29 分類 手動 -
製品コード ：20666
型式 ：NW16MSBV▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(NW)：16，25
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 16 A 30 L（長さ） 106～108 L1 84 -
製品コード ：20667
型式 ：NW25MSBV▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(NW)：16，25
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 25 A 40 L（長さ） 111～113 L1 84
-
製品コード ：20652
型式 ：ICF34MSBV▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(NW)：16，25
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 34 L（長さ） 110.7 L1 102 -
製品コード ：60246
型式 ：NW40PASFV▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡くださいリークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA NW/KF 40 -
製品コード ：60237
型式 ：NW50PASFV▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡くださいリークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA NW/KF 50
