真空部品 約8000種類 を常時在庫 当日出荷は17時まで受付(営業時間9:00〜18:00 土日祝除く)
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
---|---|
使用可能圧力 | 10<sup>-6</sup> Pa ~0.5Mpa |
プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能温度(ボディ) | 150 ℃ |
使用可能温度(アクチュエーター) | 120 ℃ |
使用可能温度(ポジションインディケーター) | 70 ℃ |
ボディ | SUS 316 |
プレート | SUS 316 |
ベローズ | SUS 316 |
ボンネットシール | FKM(Viton®) |
ポジションインディケーター(接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ:ICF,NW/KF
・形状:L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ:NW/KF
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 16 |
A | 40 |
D | 56.8 |
E | 60 |
L(長さ) | 122〜141 |
コンダクタンス[L/S] | 4 |
分類 | 手動 |
▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ:ICF,NW/KF
・形状:L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ:NW/KF
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
A | 50 |
D | 57 |
E | 60 |
L(長さ) | 128.4~148.2 |
コンダクタンス[L/S] | 12.8 |
分類 | 手動 |
▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ:ICF,NW/KF
・形状:L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ:NW/KF
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 40 |
A | 65 |
D | 75 |
E | 60 |
L(長さ) | 167.5~198.5 |
コンダクタンス[L/S] | 41.8 |
分類 | 手動 |
▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ:ICF,NW/KF
・形状:L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ:NW/KF
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 50 |
A | 70 |
D | 89 |
E | 60 |
L(長さ) | 190.5~235.5 |
コンダクタンス[L/S] | 71.9 |
分類 | 手動 |
▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ:ICF,NW/KF
・形状:L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ:NW/KF
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
A | 50 |
D | 57 |
L(長さ) | 148.8 |
コンダクタンス[L/S] | 12.8 |
分類 | 圧空 |
▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ:ICF,NW/KF
・形状:L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ:NW/KF
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 40 |
A | 65 |
D | 76 |
L(長さ) | 199.2 |
コンダクタンス[L/S] | 41.8 |
分類 | 圧空 |
▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ:ICF,NW/KF
・形状:L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ:NW/KF
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 50 |
A | 70 |
D | 89 |
L(長さ) | 246 |
コンダクタンス[L/S] | 71.9 |
分類 | 圧空 |
▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ:ICF,NW/KF
・形状:L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ:NW/KF
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 34 |
A | 38 |
D | 120 ~ 139 |
E | 60 |
L(長さ) | 120~139 |
コンダクタンス[L/S] | 4 |
分類 | 手動 |
▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ:ICF,NW/KF
・形状:L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ:NW/KF
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
A | 63 |
D | 161 ~ 201 |
E | 60 |
L(長さ) | 161~201 |
コンダクタンス[L/S] | 26 |
分類 | 手動 |
▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ:ICF,NW/KF
・形状:L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ:NW/KF
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 114 |
A | 105 |
D | 227 ~ 268 |
E | 60 |
L(長さ) | 227~268 |
コンダクタンス[L/S] | 29 |
分類 | 手動 |
▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(NW):16,25
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 16 |
A | 30 |
L(長さ) | 106~108 |
L1 | 84 |
▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(NW):16,25
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
A | 40 |
L(長さ) | 111~113 |
L1 | 84 |
▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(NW):16,25
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 34 |
A | 34 |
L(長さ) | 110.7 |
L1 | 102 |
▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質:SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
---|---|
使用可能圧力 | 10<sup>-6</sup> Pa ~0.5Mpa |
プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能温度(ボディ) | 150 ℃ |
使用可能温度(アクチュエーター) | 120 ℃ |
使用可能温度(ポジションインディケーター) | 70 ℃ |
ボディ | SUS 316 |
プレート | SUS 316 |
ベローズ | SUS 316 |
ボンネットシール | FKM(Viton®) |
ポジションインディケーター(接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
NW/KF | 40 |
▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質:SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
---|---|
使用可能圧力 | 10<sup>-6</sup> Pa ~0.5Mpa |
プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能温度(ボディ) | 150 ℃ |
使用可能温度(アクチュエーター) | 120 ℃ |
使用可能温度(ポジションインディケーター) | 70 ℃ |
ボディ | SUS 316 |
プレート | SUS 316 |
ベローズ | SUS 316 |
ボンネットシール | FKM(Viton®) |
ポジションインディケーター(接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
NW/KF | 50 |