ICF70VPS交換用シャッター

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製品コード：20428 型式：VPS70

真空チャンバー内で発生した蒸発物質等をシャッターに付着させ、ビューポートを常にクリアーに保ちます。また、RHEED（反射光速電子解析）、光学系の遮蔽に使用されています。
ICF 70 ～ ICF 203 までを標準規格化しております。
シャッターはマグネットカップリングの導入機で制御されています。
交換用部品として、シャッターのみのご用意もございます。

基本情報
主要材質	SUS 316L
RoHS2対応	○

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