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ICF 交換シャッター

ICF 交換シャッター

真空チャンバー内で発生した蒸発物質等をシャッターに付着させ、ビューポートを常にクリアーに保ちます。また、RHEED(反射光速電子解析)、光学系の遮蔽に使用されています。
ICF 70 ~ ICF 203 までを標準規格化しております。
シャッターはマグネットカップリングの導入機で制御されています。
交換用部品として、シャッターのみのご用意もございます。

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基本情報
主要材質 SUS 316L
RoHS2対応
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4 件の型式候補があります

※製品コード・型式をクリックいただくと、ご覧いただけます。

製品コード / 型式 ICF 在庫・納期 単価(税抜)
20428 / VPS70 70
ICF70VPS交換用シャッター 寸法画像
ICF
70
製品コード :20428    型式 :VPS70
20431 / VPS114 114
ICF114VPS交換用シャッター 寸法画像
ICF
114
製品コード :20431    型式 :VPS114
20424 / VPS152 152
ICF152VPS交換用シャッター 寸法画像
ICF
152
製品コード :20424    型式 :VPS152
20417 / VPS203 203
ICF203VPS交換用シャッター 寸法画像
ICF
203
製品コード :20417    型式 :VPS203
ICF 交換シャッター カタログ画像
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