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近年、あらゆる電子デバイスの微細化・高集積化を背景に、ナノオーダーに対応した微細加工技術が不可欠です。特に、成膜法のひとつである「スパッタリング技術」は、緻密で高精度な薄膜を再現性よく形成できる点や高融点物質も材料に使えるなどのメリットから、真空蒸着法(CVD含む)に代わる手法として液晶ディスプレイや太陽光パネル、超LSI、半導体など多様な分野で活用され、今後も成長が予想されています。
こうした技術は、あらゆる産業の製造工程の中心部を担うだけに、製造装置の故障は許されません。ゆえに、装置メーカーにはきわめて高い信頼性が求められますが…。