■アネルバのE型電子銃および電源の特長
01.優れた蒸着性
02.多種に渡るラインアップ
03.小型・軽量
04.優れた制御性
05.ビームスイープ可能
06.放電持続防止
07.高パワーの低速電子線
08.フランジマウント型E型電子銃
■電子銃設置にあたっての注意
E型電子銃は磁場により電子ビームの偏向を行っているため、電子銃の近くに磁性体の構造物があると、電子銃の磁場が影響を受け、電子ビームの照射位置が変化します。極端な場合には、電子ビームがルツボ以外の場所に当たり、電子銃を損傷することもありますので注意してください。
特に鉄製の真空チャンバの場合には、チャンバのベースプレートから15cm以上離して取付けることが必要です。また、取付台を使用する場合には、SUSなどの非磁性体材料を用いてください。
詳細に関して、設置設計時にキヤノンアネルバ社にご相談下さい。
■電子銃の現地調整について
E型電子銃をお納めさせて頂き、お客様にて電子銃の取付、プロテクション等の配線、水配管が終了した後、キヤノンアネルバ社にて安全にご使用して頂けることを確認するために、現地調整を必ずさせて頂くことになっております。事前にご了承下さい |
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