| バルブ | |
| ポリイミドバルブ | |
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シール状にポリイミド樹脂を用いたバルブで、 圧力10-8Pa程度の超高真空領域までご使用いただけます。 確実なシールが要求される真空装置のカット・アウト及びガス・インレット用に最適です。 |
| バイトンバルブ | |
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圧力10-4Pa程度までご使用いただける高真空用(軸シールはOリング方式)と、 10-7Pa程度までご使用いただける超高真空用があります。 いずれも弁座にはバイトンを用いており、手動型と自動型(空圧式)がございます。 |
| ガス導入バルブ （バリアブルリークバルブ） | |
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真空装置へ微量ガスを導入するためのもので、ガス流量を微量コントロールでき、 450℃までの加熱出しが可能な超高真空仕様となっています。 このほか真空装置内を大気にするリークバルブ等がございます。 |
| メタルバルブ | |
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オールメタル製で、圧力10-8Pa以下の超高真空領域までご使用いただけます。 450℃までのハードベークを伴う超高真空装置用のバルブとして最適です。 |
| ゲートバルブ | |
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10-7Paの真空領域まで使用できるバルブです。
取扱方向を選ばず、正圧、逆圧のいずれにもご使用いただけます。 本体は全てステンレス製でシール材にはバイトンを用い、 |
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